[發(fā)明專利]層疊型壓電致動器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980113728.2
• 申請日: 2009-04-15
• 公開（公告）號: CN101999180A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 葛西重治;進藤智;林宏一;森本靖弘
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H01L41/083
• 分類號: H01L41/083;F02M51/00;F02M51/06;H01L41/187;H01L41/22
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖

1.一種層疊型壓電致動器，其特征在于，

包括層疊型壓電體以及第一外部電極和第二外部電極，

所述層疊型壓電體的多個內(nèi)部電極與多個壓電體層層疊，多個內(nèi)部電極具有與不同電位相連接的第一內(nèi)部電極和第二內(nèi)部電極，

所述第一外部電極和第二外部電極分別與所述第一內(nèi)部電極和第二內(nèi)部電極電連接，并且形成于所述層疊型壓電體的外表面，

所述層疊型壓電體具有相對的第一側(cè)面和第二側(cè)面，所述第一內(nèi)部電極和第二內(nèi)部電極分別引出到第一側(cè)面和第二側(cè)面，所述第一外部電極和第二外部電極形成于所述第一側(cè)面和第二側(cè)面，

所述第一外部電極和第二外部電極包括基底電極和應(yīng)力吸收用外部電極構(gòu)件，所述基底電極形成于所述壓電體的側(cè)面，與引出到該側(cè)面的所述第一內(nèi)部電極或第二內(nèi)部電極的邊緣部分電連接，所述應(yīng)力吸收用外部電極構(gòu)件形成于所述基底電極上，具有彈性結(jié)構(gòu)部和固定部，所述彈性結(jié)構(gòu)部在受到外力時發(fā)生彈性形變，所述固定部與所述彈性結(jié)構(gòu)部相連，并平行于位于所述基底電極下方的內(nèi)部電極邊緣部分而延伸，與所述基底電極相接合。

2.如權(quán)利要求1所述的層疊型壓電致動器，其特征在于，

所述固定部形成為使其與所述基底電極相接合的部分的寬度方向尺寸為不到沿所述層疊型壓電體的層疊方向相鄰的內(nèi)部電極。

3.如權(quán)利要求1或2所述的層疊型壓電致動器，其特征在于，

所述彈性結(jié)構(gòu)部不與所述基底電極相接合。

4.如權(quán)利要求1至3中的任一項所述的層疊型壓電致動器，其特征在于，

所述固定部包括第一固定部和第二固定部，所述第一固定部和第二固定部隔著所述彈性結(jié)構(gòu)部而相對配置。

5.如權(quán)利要求1至4中的任一項所述的層疊型壓電致動器，其特征在于，

所述基底電極與所述應(yīng)力吸收用外部電極構(gòu)件通過擴散接合相接合。

6.如權(quán)利要求5所述的層疊型壓電致動器，其特征在于，

所述基底電極和所述應(yīng)力吸收用外部電極構(gòu)件經(jīng)由金屬嵌件進行擴散接合，所述金屬嵌件與對所述應(yīng)力吸收用外部電極構(gòu)件進行擴散接合時所擴散的金屬為同種金屬。

7.如權(quán)利要求6所述的層疊型壓電致動器，其特征在于，

所述金屬嵌件由含有金屬粉末和玻璃料的電極糊料形成，所述基底電極由以與所述導(dǎo)電糊料相同的金屬為主要成分的電極糊料通過煅燒而形成。