[發明專利]薄膜太陽能電池制造裝置

有效

• 申請號: 200980112942.6
• 申請日: 2009-06-03
• 公開（公告）號: CN101999174A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 清水康男;小形英之;松本浩一;野口恭史;若森讓治;岡山智彥;森岡和;杉山哲康;重田貴司;栗原広行
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: H01L31/04
• 分類號: H01L31/04;C23C16/44;H01L21/205
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 齊葵;王誠華

1.一種薄膜太陽能電池制造裝置，其特征在于，具有：

成膜室，被排氣以減壓并通過CVD法在基板上形成膜；

放入取出室，與所述成膜室經由第一開閉部連接，并能夠在大氣壓與減壓之間切換；

移動軌道，鋪設于所述成膜室和所述放入取出室；

托架，保持所述基板并沿著所述移動軌道移動；以及

使所述托架移動的托架移送機構，

所述托架移送機構設置在所述放入取出室，使所述托架在所述成膜室與所述放入取出室之間移動。

2.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池制造裝置，具有：

基板裝卸室，與所述放入取出室經由第二開閉部連接；

基板搬送機構，進行將所述基板安裝到所述托架上的作業和將所述基板從所述托架上拆卸的作業；以及

收容機構，收容安裝到所述托架上的基板、或者從所述托架上拆卸的基板的至少之一，

所述托架移送機構使所述托架在所述放入取出室與所述基板裝卸室之間移動，

所述基板搬送機構在所述基板裝卸室內，進行將所述基板安裝到所述托架上的作業和將所述基板從所述托架上拆卸的作業，且所述基板搬送機構吸附所述基板的被成膜面的背面以保持所述基板，使所述基板在所述基板裝卸室與所述收容機構之間移動。

3.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池制造裝置，所述托架以所述基板的被成膜面與重力方向平行的縱姿勢保持所述基板。

4.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池制造裝置，所述托架并排且對置地保持多個所述基板。

5.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池制造裝置，

所述成膜室具有多個陰極和與所述陰極對置的陽極，

所述托架被移送到所述成膜室，以使所述基板插入到所述陰極與所述陽極之間。

6.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池制造裝置，

所述成膜室具有成膜單元，該成膜單元具有一個陰極和與所述陰極的兩面對置的兩個陽極，

所述托架被移送到所述成膜室，以使所述基板插入到所述陰極與所述陽極之間。

7.根據權利要求6所述的薄膜太陽能電池制造裝置，所述成膜室具有多個所述成膜單元。

8.根據權利要求6或權利要求7所述的薄膜太陽能電池制造裝置，所述成膜單元被安裝為能夠從所述成膜室抽出。

9.根據權利要求2所述的薄膜太陽能電池制造裝置，

所述收容機構以所述基板的被成膜面為水平的姿勢收容所述基板，

所述托架以所述基板的被成膜面為鉛直的姿勢收容所述基板，

所述基板搬送機構具有將所述基板在水平的姿勢與鉛直的姿勢之間旋轉的旋轉機構。

10.根據權利要求1至9中的任一項所述的薄膜太陽能電池制造裝置，

包括多個將一個所述成膜室連接在一個所述放入取出室上的處理模塊，

多個所述處理模塊并列配置。

11.根據權利要求1至10中的任一項所述的薄膜太陽能電池制造裝置，一個所述放入取出室與多個所述成膜室連接。

12.根據權利要求2所述的薄膜太陽能電池制造裝置，

包括多個在一個所述放入取出室上連接一個所述成膜室的處理模塊，

多個所述處理模塊并列配置，

一個所述基板搬送機構被設置為共用于多個所述處理模塊。