[發明專利]微芯片及微芯片的制造方法無效
| 申請號: | 200980112324.1 | 申請日: | 2009-04-07 |
| 公開(公告)號: | CN101999078A | 公開(公告)日: | 2011-03-30 |
| 發明(設計)人: | 平山博士 | 申請(專利權)人: | 柯尼卡美能達精密光學株式會社 |
| 主分類號: | G01N35/08 | 分類號: | G01N35/08;B01J19/00;B81B1/00;B81C3/00;G01N37/00 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人: | 岳雪蘭 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 芯片 制造 方法 | ||
1.一種微芯片,備有:樹脂基板,其具有形成了流路用槽的第1表面和所述第1表面反面的第2表面;接合在所述第1表面上的樹脂薄膜;微芯片的特征在于,
從垂直于所述第1表面的方向看到的所述樹脂基板的投影面積,大于所述樹脂基板的所述第1表面的面積。
2.如權利要求1中記載的微芯片,其特征在于,所述樹脂基板具有所述第2表面的面積大于所述第1表面的面積的錘臺形狀。
3.如權利要求1中記載的微芯片,其特征在于,
具有突出部,其被設在所述第1表面和所述第2表面之間的所述樹脂基板的側壁上,相對所述第1表面的周緣向外突出,
所述突出部被設在所述側壁上的所述第2表面一側的位置上。
4.如權利要求1中記載的微芯片,其特征在于,
具有突出部,其被設在所述第1表面和所述第2表面之間的所述樹脂基板的側壁上,相對所述第1表面的周緣向外突出,
所述突出部被設在所述側壁上的所述第1表面和所述第2表面之中間的位置上。
5.如權利要求3或4中記載的微芯片,其特征在于,所述突出部的板厚在0.5mm以上,且比所述樹脂基板的板厚薄。
6.如權利要求3至5的任何一中記載的微芯片,其特征在于,所述突出部是通過注射成型與所述樹脂基板本體一體形成的。
7.一種微芯片的制造方法,微芯片備有:
樹脂基板,其具有形成了流路用槽的第1表面和所述第1表面反面的第2表面,呈從垂直于所述第1表面的方向看到的投影面積大于所述第1表面的面積之形狀;
接合在所述第1表面上的樹脂薄膜;
微芯片制造方法的特征在于,包括:固定工序,用夾具固定所述樹脂基板的側壁;接合工序,在被所述夾具固定的樹脂基板的表面上接合樹脂薄膜。
8.如權利要求7中記載的微芯片的制造方法,其特征在于,
所述樹脂基板具有突出部,其被設在所述第1表面和所述第2表面之間的所述樹脂基板的側壁上,相對所述第表面的周緣向外突出,
在所述固定工序中用夾具固定所述突出部。
9.如權利要求7或8中記載的微芯片的制造方法,其特征在于,所述固定工序時,所述夾具被設置成在垂直于所述第1表面的方向上不突出延長所述第1表面的設想平面。
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