[發明專利]周期性缺陷檢測裝置及其方法

無效

• 申請號: 200980112171.0
• 申請日: 2009-03-27
• 公開（公告）號: CN102007400A
• 公開（公告）日: 2011-04-06
• 發明（設計）人: 腰原敬弘;加藤宏晴;長棟章生
• 申請（專利權）人: 杰富意鋼鐵株式會社
• 主分類號: G01N27/83
• 分類號: G01N27/83;G01N21/892
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 高培培;車文

1.一種周期性缺陷檢測裝置，其包括：

傳感器，用于獲得對被檢體上的長度比所預測的缺陷周期長的區域的性狀進行評價的信號；

小區域選擇單元，決定多個區域長度比所述區域短的小區域的位置，使得所述小區域在周期性缺陷的排列方向上以相鄰的距離間隔全部相等的方式分離，并且從所述傳感器輸出中選擇與所述多個小區域的位置對應的信號；

評價指數計算單元，在由該小區域選擇單元選擇出的多個信號間算出信號模式相互的類似性的評價指數；

設定值變更單元，變更所述小區域的位置和所述距離間隔，反復進行所述小區域選擇單元和所述評價指數計算單元的運算處理；和

周期判定單元，在所述評價指數比預先設定的值高的情況下，將所述距離間隔判定為周期。

2.根據權利要求1所述的周期性缺陷檢測裝置，其中，

所述小區域選擇單元包括：

第1小區域選擇單元，決定一個長度比所述區域短的小區域的位置，將其作為第1小區域，并且從所述傳感器輸出中選擇與所述第1小區域的位置對應的信號；和

第2小區域選擇單元，以所述第1小區域的位置作為基準，配置多個第2小區域，使得多個第2小區域在周期性缺陷的排列方向上以距離間隔全部相等的方式分離，并且從所述傳感器輸出中選擇與所述多個第2小區域的位置對應的信號，

所述設定值變更單元變更所述第1小區域的位置和所述距離間隔，反復進行所述小區域選擇單元和所述評價指數計算單元的運算處理。

3.根據權利要求1所述的周期性缺陷檢測裝置，其中，

所述傳感器是對由磁性金屬部件構成的被檢體進行勵磁，以獲得泄漏磁通信號的磁傳感器。

4.根據權利要求1或2所述的周期性缺陷檢測裝置，其中，

使所述小區域的長度與設想的最大缺陷為相同程度的長度。

5.根據權利要求1～3中任一項所述的周期性缺陷檢測裝置，其中，

所述評價指數計算單元對所述小區域分別算出評價類似性的值，并且將這些值組合求出所述評價指數。

6.根據權利要求4所述的周期性缺陷檢測裝置，其中，

所述評價指數計算單元對所述小區域分別算出評價類似性的值，并且將這些值相加作為所述評價指數。

7.根據權利要求1～5中任一項所述的周期性缺陷檢測裝置，其中，

對所述小區域分別評價類似性的值是所述小區域間的相關值。

8.一種周期性缺陷檢測方法，其包括：

信號輸入步驟，獲得對被檢體上的長度比所預測的缺陷周期長的區域的性狀進行評價的傳感器輸出；

小區域選擇步驟，決定區域長度比所述區域短的多個小區域的位置，并使所述多個小區域在周期性缺陷的排列方向上以相鄰的距離間隔全部相等的方式分離，并且從所述傳感器輸出中選擇與所述多個小區域的位置對應的信號；

評價指數計算步驟，在由該小區域選擇單元選擇出的多個信號間算出信號模式相互的類似性的評價指數；

設定值變更步驟，變更所述小區域的位置和距離間隔，反復進行(b)和(c)；和

周期判定步驟，在由(c)求出的評價指數比預先設定的值高的情況下將所述距離間隔判定為周期。

9.根據權利要求8所述的周期性缺陷檢測方法，其中，

在所述小區域選擇步驟中，決定一個長度比所述區域短的小區域的位置，將其作為第1小區域，并且以該第1小區域的位置作為基準，配置多個第2小區域，使得所述多個第2小區域在周期性缺陷的排列方向上以距離間隔全部相等的方式分離，并且從所述傳感器輸出中選擇與所述第1小區域的位置及所述多個第2小區域的位置對應的信號，

在所述設定值變更步驟中，變更所述第1小區域的位置和距離間隔，反復進行(b)和(c)。