[發明專利]真空蒸鍍裝置以及溫度調節方法

有效

• 申請號: 200980111673.1
• 申請日: 2009-09-24
• 公開（公告）號: CN101981223A
• 公開（公告）日: 2011-02-23
• 發明（設計）人: 平野竜也;小林敏郎
• 申請（專利權）人: 三菱重工業株式會社
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 岳雪蘭

技術領域

本發明涉及真空蒸鍍裝置以及溫度調節方法。

背景技術

眾所周知，例如、在有機EL商品的制造過程中，真空蒸鍍法主要用于制造以低分子化合物為材料的有機EL成分的薄膜。在該真空蒸鍍法中，在真空室內設置收容有機材料的坩堝，通過利用加熱器等對該坩堝加熱而使有機材料氣化，并使有機材料附著在基板等上而成膜。

并且，由于加熱器配置的不平衡或發熱量、真空室內的部件的配置，有時坩堝內的有機材料的溫度分布不平衡。當坩堝內的有機材料的溫度分布不平衡時，因為有機材料不平衡地氣化，所以形成在基板上的薄膜變得不均勻。并且，在坩堝內，有機材料在不平衡的狀態下大量殘存。

作為解決這種問題的真空蒸鍍裝置，存在下述專利文獻1記載的裝置。該真空蒸鍍裝置是如下裝置。即、在由沒有被高頻感應加熱的材質構成的坩堝內，收容由被高頻感應加熱的材質構成的多個粒狀混入物，通過高頻加熱該粒狀混入物，一邊對有機材料進行攪拌，一邊進行加熱。

專利文獻1：(日本)特開2004-323915號公報

然而，在現有技術中，因為為了對有機材料進行加熱而需要相當數量的粒狀混入物，所以當進行有機材料的氣化時，有機材料低于粒狀混入物的高度。此時，位于粒狀混入物間的有機材料被劇烈加熱。因此，當有機材料低于一定量時，必須添加新的有機材料或替換該有機材料，存在生產效率或經濟效率差的問題。

發明內容

本發明是鑒于上述問題做出的，其目的在于提供一種能夠通過簡單的結構實現溫度分布的均一化，并且能夠提供減少材料的多余填充的真空蒸鍍裝置以及溫度調節方法。

為了到達上述目的，本發明采用了如下手段。

即、本發明的真空蒸鍍裝置的特征在于，包括：能夠收容從外部搬入的被蒸鍍體的真空室；設置在所述真空室內并收容蒸鍍材料的坩堝；加熱所述坩堝并使所述蒸鍍材料氣化的加熱源；分散配置在所述坩堝的底部并支承所述坩堝、并且在所述坩堝與所述真空室的底部之間進行傳熱的多個支承部。

根據該結構，因為具有分散配置在所述坩堝的底部并且在所述坩堝與所述真空室的底部之間進行傳熱的多個支承部，所以能夠使支承部附近的坩堝內的蒸鍍材料的溫度降低。通過有意地設置低溫部分，能夠調節坩堝內的蒸鍍材料的溫度。即、通過分散配置低溫部分，能夠實現蒸鍍材料的溫度的均一化。并且，因為通過使坩堝內的溫度均一化，能夠減小蒸鍍材料的氣化量的偏差，所以能夠使蒸鍍材料的減少在坩堝內的各部位均一化。因此，能夠減少蒸鍍材料的多余的填充。

并且，所述加熱源的特征在于，以在所述支承部的附近所述坩堝的加熱量變大的方式構成。

根據該結構，由于在支承部附近加熱量變大，所以在離開支承部且不向底部傳熱的部位和在支持部附近向底部傳熱的部位上各自的蒸鍍材料的溫度差變小。據此，能夠更好地實現蒸鍍材料的溫度的均一化。

并且，所述多個支承部的一部分特征在于，傳熱量與其他支承部不同。

根據該結構，所述多個支承部的一部分的傳熱量與其他支承部不同，因此，由于使蒸鍍材料向相對高溫的部位的底部的傳熱量增大，并且，使蒸鍍材料向相對低溫的部位的底部的傳熱量減小，能夠實現蒸鍍材料的溫度的均一化。并且，由于使蒸鍍材料向相對低溫的部位的底部的傳熱量減小，能夠降低加熱器的發熱量。

所述多個支承部的一部分的特征在于，剖面面積與其他支承部不同。

所述多個支承部的一部分的特征在于，由與其他支承部的導熱系數不同的材料構成。

所述多個支承部的一部分的特征在于，使在導熱上具有方向性的傳熱阻礙部件介于所述坩堝與所述底部之間并且進行傳熱。

并且，本發明的真空蒸鍍裝置包括：能夠收容從外部搬入的被蒸鍍體的真空室；設置在所述真空室內并收容蒸鍍材料的坩堝；加熱所述坩堝并使所述蒸鍍材料氣化的加熱源。所述加熱源的特征在于，根據所述坩堝的位置而使對所述坩堝的加熱量不同。

根據該結構，加熱源根據所述坩堝的位置而使對所述坩堝的加熱量不同，因此，通過蒸鍍材料使相對高位的部位的加熱量變小，并且蒸鍍材料使相對低位的部位的加熱量變大，能夠實現蒸鍍材料的溫度的均一化。

并且，所述加熱源的特征在于，改變發熱量并使對所述坩堝的加熱量不同。

并且，包括控制所述加熱源發熱量的控制部。所述控制部的特征在于，以所述坩堝內的所述蒸鍍材料在規定量以下作為條件而開始發熱調節。

根據該結構，由于以蒸鍍材料在規定量以下作為條件而開始發熱調節，能夠降低蒸鍍材料的總量并僅在溫度分布不平衡加劇的區域進行溫度調節。因此，能夠利用必要的最小限度的控制有效地實現蒸鍍材料的溫度的均一化。