[發(fā)明專利]排水處理方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980110801.0
• 申請日: 2009-03-23
• 公開（公告）號: CN101980970A
• 公開（公告）日: 2011-02-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 知福博行;糠信輝領(lǐng)謹(jǐn)
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社神鋼環(huán)境舒立凈
• 主分類號: C02F3/28
• 分類號: C02F3/28;C02F3/00;C02F3/10
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及排水處理方法。

背景技術(shù)

近年來，四甲基氫氧化銨(以下也有時記作TMAH)等氫氧化四烷基銨用作制造半導(dǎo)體或液晶面板的光刻法用的陽性抗蝕劑用顯影液等，隨著半導(dǎo)體或液晶的生產(chǎn)量的增加，含有氫氧化四烷基銨的排水的產(chǎn)生量也在增加。

到目前為止，已知的含有氫氧化四烷基銨的排水的處理方法有通過加熱氫氧化四烷基銨使其熱分解的處理方法、通過反滲透膜去除氫氧化四烷基銨的處理方法以及使用離子交換樹脂去除的處理方法等。然而，在熱分解氫氧化四烷基銨的處理方法中需要用于加熱的燃料等，在使用反滲透膜或離子交換樹脂的方法中需要處理去除的氫氧化四烷基銨。因此，這些處理方法存在處理成本比較高的問題。

并且，含有TMAH等氫氧化四烷基銨的排水的處理方法已知的有通過利用需氧微生物的需氧處理的排水處理方法(專利文獻(xiàn)1)。然而，通過需氧處理的排水處理方法，隨著微生物的增殖產(chǎn)生的廢棄物的量比較多，需要用于供給氧氣的動力，相比之下，存在排水處理成本變高的問題。

另一方面，作為以比較低的成本處理含有TMAH等氫氧化四烷基銨的排水的排水處理方法，已知的有通過利用厭氧性微生物的厭氧處理(甲烷發(fā)酵等)的排水處理方法。這樣的排水處理方法與通過熱分解等的處理方法不同，無需用于熱分解的燃料等，且與使用反滲透膜或離子交換樹脂的處理方法不同，不必要對回收去除的氫氧化四烷基銨進(jìn)行進(jìn)一步處理。然而，為使氫氧化四烷基銨等有機(jī)性物質(zhì)的大部分分解而實施的厭氧處理中，氫氧化四烷基銨等有機(jī)性物質(zhì)的分解活性容易隨著時間的推移降低，存在難以保持較高的分解活性的問題。

因此，在含有氫氧化四烷基銨的排水的排水處理方法中，期望有能抑制氫氧化四烷基銨的分解活性的降低的通過厭氧處理的排水處理方法。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2006-326435號公報

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于上述問題點(diǎn)、期望點(diǎn)等，目的在于提供可抑制氫氧化四烷基銨的分解活性的降低的、對含有氫氧化四烷基銨的排水進(jìn)行厭氧處理的排水處理方法。

為解決上述課題，本發(fā)明涉及的排水處理方法用于處理含有氫氧化四烷基銨的排水，其特征在于，在糖類或一元醇存在下對上述排水進(jìn)行厭氧處理。

根據(jù)上述排水處理方法，由于在存在糖類或一元醇的條件下對上述排水進(jìn)行厭氧處理，通過上述糖類或一元醇可提高厭氧性微生物分解氫氧化四烷基銨的代謝活性。通過上述糖類或一元醇更容易分解氫氧化四烷基銨的原理雖不能予以完全解釋，但可認(rèn)為上述糖類或一元醇提高了厭氧性微生物分解氫氧化四烷基銨的代謝活性。也就是說，為了代謝上述糖類或一元醇，厭氧性微生物的代謝活動變得活躍，與此同時分解氫氧化四烷基銨的代謝活動也變得活躍起來。

并且，本發(fā)明涉及的排水處理方法中，優(yōu)選在單糖類存在下對上述排水進(jìn)行厭氧處理。通過在單糖類存在下對上述排水進(jìn)行厭氧處理，具有能進(jìn)一步提高厭氧性微生物分解氫氧化四烷基銨的代謝活性的優(yōu)點(diǎn)。

并且，本發(fā)明涉及的排水處理方法中，優(yōu)選上述單糖類為葡萄糖。由于上述單糖類為葡萄糖，具有可提高厭氧性微生物分解氫氧化四烷基銨的代謝活性的優(yōu)點(diǎn)。

并且，本發(fā)明涉及的排水處理方法中，優(yōu)選在異丙醇存在下對上述排水進(jìn)行厭氧處理。通過在異丙醇存在下對上述排水進(jìn)行厭氧處理，具有能進(jìn)一步提高厭氧性微生物分解氫氧化四烷基銨的代謝活性的優(yōu)點(diǎn)。

并且，本發(fā)明涉及的排水處理方法中，優(yōu)選相對于上述排水所含有的氫氧化四烷基銨的有機(jī)碳量1重量份有機(jī)碳量為0.5～2重量份的量的上述糖類存在下，對上述排水進(jìn)行厭氧處理。

并且，本發(fā)明涉及的排水處理方法中，優(yōu)選相對于上述排水中包含的氫氧化四烷基銨的有機(jī)碳量1重量份有機(jī)碳量為0.5～2重量份的量的上述一元醇存在下，對上述排水進(jìn)行厭氧處理。

本發(fā)明涉及的排水處理方法，可提高厭氧性微生物分解氫氧化四烷基銨的代謝活性。因此，本發(fā)明的排水處理方法具有能抑制厭氧處理中氫氧化四烷基銨的分解活性的降低的效果。

附圖說明

圖1是示出本實施方式的排水處理方法所使用的排水處理設(shè)備的模式圖；

圖2是示出試驗例1的排水處理中S-TOC去除率的坐標(biāo)圖；

圖3是示出試驗例1的排水處理中通過測量TMAH的濃度得出的TMAH的去除率的坐標(biāo)圖；

圖4是示出試驗例2的排水處理中S-TOC去除率的坐標(biāo)圖；

圖5是示出試驗例2的排水處理中通過測量TMAH的濃度得出的TMAH的去除率的坐標(biāo)圖；

圖6是示出試驗例3的排水處理中S-TOC去除率的坐標(biāo)圖；