[發明專利]分光器的制造方法有效
| 申請號： | 200980109121.7 | 申請日： | 2009-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN101970995A | 公開（公告）日： | 2011-02-09 |
| 發明（設計）人： | 柴山勝己 | 申請（專利權）人： | 浜松光子學株式會社 |
| 主分類號： | G01J3/18 | 分類號： | G01J3/18;G02B7/00 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 分光 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種分光器的制造方法，其特征在于，
是由分光部對光進行分光并由光檢測元件進行檢測的分光器的制造方法，
包括以下工序：
準備封裝體的工序，所述封裝體的外形為長方體形狀，并且所述封裝體形成有凹部，所述凹部具有以第1區域和包圍該第1區域的第2區域在同一曲面上連續的方式設置的內壁面；
形成樹脂層的工序，在準備了所述封裝體之后，將樹脂層形成于所述第1區域；
形成光柵溝槽的工序，在形成所述樹脂層之后，通過將模具抵接于該樹脂層從而形成沿著規定的方向排列的多個光柵溝槽；
設置所述分光部的工序，在形成所述光柵溝槽之后，通過將反射膜形成于所述樹脂層從而將所述分光部設置于所述封裝體中；以及
容納所述光檢測元件的工序，在設置所述分光部之后，將所述光檢測元件容納于所述封裝體中。
2.如權利要求1所述的分光器的制造方法，其特征在于，
在形成所述樹脂層的工序中，將作為所述樹脂層的光固化性的樹脂劑配置于所述第1區域，
在形成所述光柵溝槽的工序中，通過將光透過性的所述模具抵接于所述樹脂劑并且照射光而使所述樹脂劑固化，從而形成所述光柵溝槽。
3.如權利要求1所述的分光器的制造方法，其特征在于，
在準備所述封裝體的工序中，以形成一對溝槽的方式，由樹脂對所述封裝體進行一體成型，該一對溝槽在所述規定的方向上位于所述分光部的兩側并且沿著與所述規定的方向垂直的方向延伸。
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