[發(fā)明專(zhuān)利]含有多種光敏引發(fā)劑的光敏樹(shù)脂組合物和使用該光敏樹(shù)脂組合物的透明薄膜層和液晶顯示器

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980108306.6
• 申請(qǐng)日: 2009-06-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101965541A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李健雨;金星炫;郭尚圭;吳東宮;李昌淳;趙昌鎬;閔庚勛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社LG化學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/028
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/028
• 代理公司: 北京北翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11285
• 代理人: 王媛;鐘守期

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種光致抗蝕劑組合物，該組合物使用兩種以上具有不同激活波長(zhǎng)的光敏引發(fā)劑，從而感光度高且形成的圖案的厚度容易隨照射強(qiáng)度而控制。本發(fā)明還涉及一種使用所述光致抗蝕劑組合物形成的透明薄膜層和一種含有該薄膜層的液晶顯示器。

背景技術(shù)

用于液晶顯示器件的液晶單元主要由用于驅(qū)動(dòng)的薄膜晶體管(TFT)基板、用于顯示彩色的濾色器，和兩個(gè)基板之間的液晶層組成。所述濾色器是以如下方式形成的基板：使用顏料分散于其中的光敏有機(jī)材料通過(guò)光刻法形成圖案后，為產(chǎn)生彩色圖像在圖案上使用三種以上具有不同透射吸收波長(zhǎng)的彩色油墨形成像素。如果需要，在濾色器基板的像素上也可使用外涂層來(lái)降低相鄰像素之間的階躍高度(step?height)，或通過(guò)圖案化形成柱狀間隔物來(lái)維持液晶單元的內(nèi)部間隙處于一定水平。

可通過(guò)光刻形成圖案的光致抗蝕劑組合物，特別是負(fù)型組合物，通常用于形成所述外涂層或所述柱狀間隔物。負(fù)型光致抗蝕劑組合物是以堿溶性聚合物、含有兩個(gè)以上丙烯酸酯基團(tuán)的多官能單體，及光敏引發(fā)劑為主的混合物，如果需要還包括溶劑和表面活性劑、粘合助劑等添加劑。當(dāng)負(fù)型光致抗蝕劑組合物暴露于光、特別是紫外線(UV)時(shí)，光敏引發(fā)劑分解產(chǎn)生活性自由基。所述活性自由基活化多官能單體的丙烯酸酯基團(tuán)從而導(dǎo)致堿溶性聚合物與多官能單體的交聯(lián)(光聚合反應(yīng))。由光聚合反應(yīng)而交聯(lián)的部分，即暴露于光的部分，分子量增加，從而堿溶性降低。所述暴露部分在隨后的顯影中保持不被除去。因此，使用負(fù)型光敏樹(shù)脂能通過(guò)光刻形成精細(xì)圖案。光致抗蝕劑組合物的感光度與穩(wěn)定形成圖案的最小照射劑量(即光能)有關(guān)。照射劑量越低就能越縮短處理時(shí)間，有助于提高生產(chǎn)率。特別是，用于形成柱狀間隔物的光致抗蝕劑組合物的感光度以圖案厚度的變化急劇下降時(shí)的照射劑量確定。

通常為了提高感光度，已在組合物中使用在較低光能量中能快速響應(yīng)的光敏引發(fā)劑，而光致抗蝕劑組合物的顯影性無(wú)顯著下降。但是，使用這樣的方法有以下缺點(diǎn)，即：圖案厚度隨照射強(qiáng)度的變化較小，從而使得難于制造可通過(guò)改變光掩模的狹縫結(jié)構(gòu)(slit?structure)和透光率來(lái)控制其厚度的透明薄膜。

發(fā)明內(nèi)容

技術(shù)問(wèn)題

本發(fā)明致力于解決如上所述的使用現(xiàn)有光致抗蝕劑組合物形成的透明薄膜所具有的問(wèn)題，并且本發(fā)明的目標(biāo)在于提供一種光致抗蝕劑組合物，其具有高感光度，并且形成的圖案的厚度易隨通過(guò)狹縫掩模或透反掩模(transflective?mask)的照射強(qiáng)度而控制。

本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種使用所述光致抗蝕劑組合物形成的透明薄膜。

本發(fā)明的又一個(gè)目的是提供一種含有所述透明薄膜的液晶顯示器。

技術(shù)方案

本發(fā)明的光致抗蝕劑組合物，該組合物使用兩種以上激活波長(zhǎng)差值在20nm以上的光敏引發(fā)劑，從而感光度良好且形成圖案的厚度易隨照射強(qiáng)度控制，因此適用于液晶顯示器等的透明薄膜層的形成，從而能夠解決上述問(wèn)題。

有益效果

本發(fā)明的光致抗蝕劑組合物具有高感光度，并且形成的圖案的厚度易隨通過(guò)狹縫掩模或透反掩模的照射強(qiáng)度而控制。因此使用這樣的光致抗蝕劑組合物有利于形成液晶顯示器的柱狀間隔物、外涂層和鈍化材料等。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的比較例和實(shí)施例以感光度和“圖案飽和厚度-狹縫圖案厚度”之間的相關(guān)性表示的圖。

圖2為本發(fā)明的比較例和實(shí)施例以感光度和“圖案飽和厚度-透反圖案厚度”之間的相關(guān)性表示的圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明提供了一種含有兩種以上具有不同激活波長(zhǎng)的光敏引發(fā)劑的光致抗蝕劑組合物，所述激活波長(zhǎng)的差值為20nm以上。

特別地，本發(fā)明的光致抗蝕劑組合物含有兩種以上光敏引發(fā)劑、堿溶性樹(shù)脂、烯鍵式不飽和化合物，及溶劑。更特別地，本發(fā)明的光致抗蝕劑組合物含有1-20重量％的堿溶性樹(shù)脂、1-20重量％的烯鍵式不飽和化合物、0.05-10重量％的光敏引發(fā)劑，和50-95重量％的溶劑。

本發(fā)明的光致抗蝕劑組合物中光敏引發(fā)劑的激活波長(zhǎng)差值在20nm以上。例如在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案中，可以混合使用具有325nm激活波長(zhǎng)的Irgacure?369(Ciba?Geigy)和具有270nm激活波長(zhǎng)的六芳基雙咪唑(Hexa-ary1-bis-imidazole)。作為另一個(gè)實(shí)施方案，可以混合使用具有333nm激活波長(zhǎng)的Irgacure?OXE-02(Ciba?Geigy)和具有305nm激活波長(zhǎng)的Irgacure?907(Ciba?Geigy)。只要光敏引發(fā)劑之間的激活波長(zhǎng)的差值符合本發(fā)明的目的，可使用任何已知系列的光敏引發(fā)劑，而不對(duì)其進(jìn)行限制。