[發明專利]固態前體升華器

有效

• 申請號: 200980107399.0
• 申請日: 2009-01-12
• 公開（公告）號: CN101960044A
• 公開（公告）日: 2011-01-26
• 發明（設計）人: 許敏第;T·肖貝
• 申請（專利權）人: 喬治洛德方法研究和開發液化空氣有限公司
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 吳鵬;牛曉玲

1.一種用于使固態前體蒸發的裝置，該裝置包括：

容器，該容器包括可密封的開口、流體入口、流體出口和內部尺寸；

至少一個第一擱架，該第一擱架具有小于容器內部尺寸的外部尺寸，以形成外部通道，并包括具有外部尺寸的內部支承件；

至少一個第二擱架，該第二擱架包括外部支承件和開口，所述外部支承件定位于容器內部尺寸處，所述開口大于第一擱架內部支承件的外部尺寸；以及

其中，第一擱架構造成與第二擱架形成重疊的垂直堆垛，以定位在容器內，并且通過外部通道在第一擱架和第二擱架之間建立流體流動路徑。

2.按照權利要求1所述的裝置，其特征在于，第二擱架開口和第一擱架內部支承件形成與所述流體流動路徑連通的內部通道。

3.按照權利要求2所述的裝置，其特征在于，第一擱架和第二擱架之間的水平空間使所述流體流動路徑在外部通道和內部通道之間延伸。

4.按照權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述流體流動路徑與流體入口和流體出口連通。

5.按照權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述至少一個第一擱架構造成堆疊在至少一個垂直相鄰的第一擱架的內部支承件上，以形成包括內部溝道的軸和與該軸相對的另一個外部通道，并且所述至少一個第二擱架構造成堆疊在至少一個垂直相鄰的第二擱架的外部支承件上。

6.按照權利要求5所述的裝置，還包括：

每個第一擱架和第二擱架之間的水平空間；

第二擱架和軸之間的內部通道；以及

其中，在容器中的流體入口和流體出口之間，內部通道和外部通道使流體流動路徑圍繞第一擱架和第二擱架延伸，且所述水平空間使液體流動路徑在第一擱架和第二擱架上方延伸。

7.按照權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述內部溝道接納下沉管。

8.按照權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述至少一個第二擱架開口構造成接納并通過所述至少一個第一擱架的內部支承件。

9.按照權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述至少一個第一擱架和所述至少一個第二擱架在它們之間包括水平分隔空間，以使所述流體流動路徑穿過外部通道圍繞所述至少一個第一擱架和穿過所述水平分隔空間在所述至少一個第一擱架上方延伸。

10.按照權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述至少一個第一擱架包括至少一個環形槽以便支承固態前體。

11.按照權利要求10所述的裝置，其特征在于，所述至少一個環形槽包括至少兩個環形壁。

12.按照權利要求1所述的裝置，其特征在于，容器聯接到加熱器上。

13.一種用于在升華室中支承固態前體的裝置，包括：

第一擱架，所述第一擱架包括用于支承固態前體的頂部表面、底部表面、和垂直取向的內部支承件；

第二擱架，所述第二擱架包括用于支承固態前體的頂部表面、底部表面和垂直取向的外部支承件，所述外部支承件周向設置在第二擱架上，并熱耦合到升華室內壁上；

內部通道，該內部通道設置在第二擱架和第一擱架內部支承件之間；

外部通道，該外部通道設置在第一擱架和第二擱架外部支承件之間；以及

位于第一擱架和第二擱架之間的水平設置的空間，該空間在升華室中的內部通道和外部通道之間建立流體流動路徑。

14.按照權利要求13所述的裝置，其特征在于，第一擱架內部支承件包括聯接器，該聯接器構造成垂直地堆疊至少一個另外的第一擱架。

15.按照權利要求13所述的裝置，其特征在于，第二擱架底部表面包括居中設置的開口，該開口構造成接納和穿過第一擱架內部支承件。

16.按照權利要求14所述的裝置，其特征在于，第二擱架外部支承件構造成垂直地堆疊至少一個另外的第二擱架，以形成第一擱架和第二擱架的重疊的垂直堆垛，并且其中多個所述內部通道、外部通道和水平空間使流體流動路徑在升華室中圍繞堆疊的擱架曲折迂回。

17.按照權利要求13所述的裝置，其特征在于，第一擱架包括同心的環形壁，所述環形壁從頂部表面延伸并形成至少一個用于支承固態前體的環形槽。