[發(fā)明專利]用于冷卻涂有半導(dǎo)體的熱玻璃片的系統(tǒng)和方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980107276.7
• 申請(qǐng)日: 2009-01-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101959810A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 詹姆士·E·海德;加里·T·法伊科施
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 威拉德&凱爾西太陽(yáng)能集團(tuán)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C03B13/00
• 分類號(hào): C03B13/00
• 代理公司: 北京安信方達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11262
• 代理人: 李冬梅;鄭霞

發(fā)明背景

1.發(fā)明領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于冷卻涂有半導(dǎo)體的熱玻璃片的系統(tǒng)和方法。

2.背景技術(shù)

半導(dǎo)體設(shè)備如光電板先前已由在玻璃片底物上涂覆半導(dǎo)體材料而構(gòu)造。參見(jiàn)美國(guó)專利：5016562?Madan等人；5248349?Foote等人；5372646?Foote等人；5470397?Foote等人；和5536333?Foote等人，所有的這些專利都公開(kāi)了用于在這種涂覆時(shí)輸送玻璃片的臥式輥?zhàn)?horizontal?roller)。

在進(jìn)行與本發(fā)明相關(guān)的研究時(shí)，所記錄的其它已有技術(shù)文獻(xiàn)包括美國(guó)專利4545327?Campbell等人；4593644?Hanak；5288329?Nakamura等人；6013134?Chu等人；和6827788?Takahashi人以及美國(guó)公開(kāi)的專利申請(qǐng)US2007/0137574。

發(fā)明概述

本發(fā)明的目的是提供一種用于冷卻涂有半導(dǎo)體的熱玻璃片的改進(jìn)的系統(tǒng)。

在實(shí)施上述目的時(shí)，用于冷卻涂有半導(dǎo)體的熱玻璃片的本發(fā)明系統(tǒng)包括限定真空室的殼體，并且還包括用于輸送剛涂有半導(dǎo)體材料的熱玻璃片通過(guò)真空室的輸送器。冷卻站包括具有輻射熱吸收元件的輻射熱吸收器，該輻射熱吸收元件以對(duì)立的關(guān)系彼此隔開(kāi)，涂有半導(dǎo)體的玻璃片在輻射熱吸收元件之間輸送，以便輻射熱吸收元件從其吸收輻射熱來(lái)提供冷卻。

在該系統(tǒng)的一個(gè)所公開(kāi)的實(shí)施方案中，輸送器具有支持涂有半導(dǎo)體的玻璃片的上部末端的上部支持物(upper?support)，在穿過(guò)真空室和在輻射熱吸收器的輻射熱吸收元件之間輸送時(shí)，涂有半導(dǎo)體的玻璃片以垂直的方向從上部支持物向下垂掛。這個(gè)實(shí)施方案的輻射熱吸收器的輻射熱吸收元件具有通常連續(xù)的平坦的熱吸收表面，該熱吸收表面垂直地延伸，且以隔開(kāi)和平行的關(guān)系互相對(duì)立，并且，垂直地定向的涂有半導(dǎo)體的玻璃片在熱吸收表面之間輸送，以便進(jìn)行冷卻。

在該系統(tǒng)的另一個(gè)所公開(kāi)的實(shí)施方案中，輸送器包括在真空室內(nèi)沿著殼體隔開(kāi)的臥式輥?zhàn)樱脕?lái)穿過(guò)真空室和在輻射熱吸收器的輻射熱吸收元件之間水平地輸送涂有半導(dǎo)體的玻璃片。這個(gè)實(shí)施方案的輻射熱吸收器包括上部熱吸收元件和下部熱吸收元件，上部熱吸收元件和下部熱吸收元件都包括平坦的熱吸收表面，且上部熱吸收元件具有被隔開(kāi)在輸送器輥?zhàn)由厦娴耐ǔ＿B續(xù)的向下地面向的熱吸收表面，并且下部熱吸收元件包括位于輸送器輥?zhàn)又g的隔開(kāi)的部分，并且，隔開(kāi)的部分具有向上地面向的熱吸收表面部分，該熱吸收表面部分被隔開(kāi)在被輸送的涂有半導(dǎo)體的玻璃片的下面。此外，下部熱吸收部分如已公開(kāi)的一樣具有整體的單一的構(gòu)造，該構(gòu)造包括下部底座，它的隔開(kāi)的部分在輸送器輥?zhàn)又g從下部底座向上凸出。

在兩個(gè)實(shí)施方案中，輻射熱吸收器可以是石墨或耐火材料，該耐火材料優(yōu)選地是α態(tài)金剛砂。

更具體地，第一個(gè)實(shí)施方案公開(kāi)了它的輸送器，該輸送器設(shè)置有支持涂有半導(dǎo)體的玻璃片的上部末端的上部支持物，在穿過(guò)真空室和在輻射熱吸收器的輻射熱吸收元件之間輸送時(shí)，涂有半導(dǎo)體的玻璃片從上部支持物以垂直的方向向下地垂掛，且輻射熱吸收器的輻射熱吸收元件由耐火材料制得，并且具有通常連續(xù)的平坦的熱吸收表面，該熱吸收表面垂直地延伸，且以隔開(kāi)和平行的關(guān)系互相對(duì)立，并且，垂直地定向的涂有半導(dǎo)體的玻璃片在熱吸收表面之間輸送，以便進(jìn)行冷卻。

同樣，第二個(gè)實(shí)施方案如已公開(kāi)的一樣具有它的輸送器，該輸送器設(shè)置有在真空室內(nèi)沿著殼體彼此隔開(kāi)的臥式輥?zhàn)樱脕?lái)穿過(guò)真空室和在輻射熱吸收器的輻射熱吸收元件之間水平地輸送涂有半導(dǎo)體的玻璃片，且該輻射熱吸收器包括上部熱吸收元件和下部熱吸收元件，上部熱吸收元件和下部熱吸收元件都由耐火材料制得，且包括平坦的熱吸收表面，并且更具體地，上部熱吸收元件具有被隔開(kāi)在輸送器輥?zhàn)由厦娴耐ǔ＿B續(xù)的向下地面向的熱吸收表面，且下部熱吸收元件包括位于輸送器輥?zhàn)又g的隔開(kāi)的部分，并且，隔開(kāi)的部分具有向上地面向的熱吸收表面部分，該熱吸收表面部分被隔開(kāi)在被輸送的涂有半導(dǎo)體的玻璃片的下面。另外，耐火材料的下部熱吸收部分如已公開(kāi)的一樣具有整體的單一的構(gòu)造，該構(gòu)造包括下部耐火材料底座，它的耐火材料的隔開(kāi)的部分在輸送器輥?zhàn)又g從下部耐火材料底座向上凸出。

本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種用于冷卻涂有半導(dǎo)體的熱玻璃片的改進(jìn)的方法。

在實(shí)施緊接的上述目的時(shí)，用于冷卻涂有半導(dǎo)體的熱玻璃片的本發(fā)明的方法是通過(guò)在真空室內(nèi)將剛涂有半導(dǎo)體材料的熱玻璃片輸送到一對(duì)隔開(kāi)的輻射熱吸收元件之間而實(shí)施的，該輻射熱吸收元件接收來(lái)自涂覆的玻璃片的輻射熱，用來(lái)提供冷卻。