[發明專利]利用KELVIN探針分析檢查靜電卡盤的方法

有效

• 申請號: 200980107037.1
• 申請日: 2009-02-26
• 公開（公告）號: CN101971316A
• 公開（公告）日: 2011-02-09
• 發明（設計）人: 阿芒·阿沃揚;石洪;約翰·多爾蒂
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 周文強;李獻忠

1.一種檢查靜電卡盤(ESC)的方法，該ESC具有用于半導體晶片的介電支撐表面，該方法包括：

利用Kelvin探針掃描該介電支撐表面以獲得表面電勢映射；

對比該表面電勢映射與基準Kelvin探針表面電勢映射以確定該ESC是否通過檢查。

2.根據權利要求1所述的方法，其中該ESC是新的或再修復的。

3.根據權利要求1所述的方法，其中該基準Kelvin探針表面電勢映射通過利用該Kelvin探針掃描ESC的基準介電支撐表面而生成。

4.根據權利要求1所述的方法，其中該ESC是Coulombic?ESC或Johnsen-Rahbek?ESC。

5.根據權利要求1所述的方法，其中該介電支撐表面由Al₂O₃組成。

6.根據權利要求1所述的方法，其中該ESC是Johnsen-RahbekESC；以及該介電支撐表面由94％Al₂O₃、4％SiO₂、1％TiO₂和1％CaO以及微量MgO，Si、Ti、Ca和Mg組成。

7.根據權利要求1所述的方法，其中該ESC是Coulombic?ESC；以及該介電支撐表面由大于或等于99％Al₂O₃組成。

8.根據權利要求1所述的方法，其中該ESC進一步包括金屬基底，該介電支撐表面覆蓋該金屬基底。

9.根據權利要求1所述的方法，其中該電介質表面包括燒結的層壓板，包括在兩個電介質層之間的圖案化的耐火材料電極。

10.根據權利要求8所述的方法，其中該基底金屬包括RF和DC功率輸入、用于起頂銷的通孔、氦氣通道、用于溫度控制流體循環的通道和溫度感應裝置。

11.根據權利要求1所述的方法，其中該掃描在室溫條件下執行。

12.根據權利要求1所述的方法，進一步包括將該ESC安裝在等離子蝕刻室中。

13.根據權利要求12所述的方法，進一步包括在該ESC上支撐晶片，并使該晶片經受等離子蝕刻。