[發明專利]離子源

無效

• 申請號: 200980106354.1
• 申請日: 2009-03-23
• 公開（公告）號: CN101960554A
• 公開（公告）日: 2011-01-26
• 發明（設計）人: 辻康之
• 申請（專利權）人: 三井造船株式會社
• 主分類號: H01J27/14
• 分類號: H01J27/14;H01J37/08
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明;王申

1.一種離子源，通過提供氣體、施加電弧電壓而產生等離子體，并由該等離子體產生離子束，其特征在于包括：

一對磁鐵，形成沿與離子束的引出方向垂直的方向施加的磁場；

等離子體容器，設置在所述一對磁鐵之間，具有提供氣體以產生等離子體的導體面的內部空間，其中用于引出離子束的開口部設置在所述內部空間內沿所述一對磁鐵的配置方向延伸的第一壁面上；

細絲，與所述等離子體容器電絕緣，從沿所述一對磁鐵的配置方向延伸的第二壁面豎直設置且通過通電而在所述內部空間釋放熱電子；

電源，使電流在所述細絲中流動；

其中，豎直設置所述細絲的所述第二壁面是朝向與所述第一壁面的朝向方向不同的方向的表面，所述細絲從所述第二壁面豎直設置在與所述一對磁鐵的配置方向不同的方向上，進一步地，所述細絲在所述細絲的中心部折回并形成環狀，并且當從垂直于形成所述環狀的表面的方向觀察時在所述環狀的基部具有不相接觸的X狀交叉的部分。

2.根據權利要求1所述的離子源，其特征在于：所述內部空間形成為長方體形狀，所述第二壁面是與所述第一壁面相對的壁面。

3.根據權利要求1或2所述的離子源，其特征在于：所述細絲豎直設置，以使形成所述環狀的表面大致垂直所述一對磁鐵的磁場方向。

4.根據權利要求1至3中任一所述的離子源，其特征在于：在所述等離子體容器的所述內部空間的所述配置方向的兩端部上設置反射熱電子的反向板，與所述細絲的環狀相對設置，所述環狀的尺寸小于所述反射板的尺寸。

5.根據權利要求1至4中任一所述的離子源，其特征在于：所述細絲通過彎曲加工棒狀線材而制成，是從鎢、鉬和以鎢或鉬為主要成分的合金中選擇的金屬。

6.根據權利要求1至5任一所述的離子源，其特征在于：所述細絲的線徑大于2mm。

7.根據權利要求1至6任一所述的離子源，其特征在于：所述細絲的X狀交叉部分的交叉角度為70～110度。

8.根據權利要求2所述的離子源，其特征在于：所述細絲的頂端部與所述第一壁面之間的距離為2～3mm。