[發明專利]用以產生具有嵌段共聚物的定向總成的納米尺寸特征的方法

有效

• 申請號: 200980104066.2
• 申請日: 2009-01-30
• 公開（公告）號: CN101971093A
• 公開（公告）日: 2011-02-09
• 發明（設計）人: 丹·B·米爾沃德;古爾特杰·S·桑胡
• 申請（專利權）人: 美光科技公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 沈錦華

1.一種印模，其包含襯底和其上的自組裝嵌段共聚物膜，所述膜包含對于油墨化學物具有親和力且可通過吸收所述油墨化學物而膨脹的第一聚合物嵌段和對于所述油墨化學物實質上不具有親和力且不會因所述油墨化學物而膨脹的第二聚合物嵌段。

2.如權利要求1所述的印模，其中所述共聚物膜包含所述第一聚合物嵌段的垂直定向圓柱、所述第一聚合物嵌段的平行定向半圓柱，或所述第一聚合物嵌段與所述第二聚合物嵌段的垂直定向、交替薄片域。

3.如權利要求1所述的印模，其進一步包含選擇性地吸收于所述第一聚合物域內而不與所述第一聚合物域化學鍵結的油墨材料。

4.如權利要求3所述的印模，其中所述油墨材料包含具有氨基、硫醇基、醇基、疊氮基或炔基官能團或其組合的油墨化學物。

5.一種形成印模的方法，其包含在印模襯底上形成自組裝嵌段共聚物膜，所述嵌段共聚物膜包含第一聚合物嵌段，其能夠吸收油墨化學物以使所述第一聚合物嵌段膨脹；和第二聚合物嵌段，其對于所述油墨化學物實質上不具有親和力且不會因所述油墨化學物而膨脹。

6.如權利要求5所述的方法，其進一步包含：

在所述印模襯底內的溝槽中形成包含所述嵌段共聚物的膜，所述溝槽具有對于所述嵌段共聚物的所述嵌段中的一者呈優先潤濕的側壁和末端，和對于所述嵌段共聚物的所述嵌段中的一者呈優先潤濕、對于所述嵌段共聚物的所述嵌段呈中性潤濕或具有優先潤濕與中性潤濕區域的組合的底面；和

使所述嵌段共聚物膜自組裝以形成所述自組裝嵌段共聚物膜。

7.如權利要求6所述的方法，其中所述溝槽底面為中性潤濕的，且所述自組裝嵌段共聚物膜包含所述第二聚合物嵌段的基質中的所述第一聚合物嵌段的垂直定向圓柱域，或所述第一聚合物嵌段與所述第二聚合物嵌段的交替薄片域。

8.如權利要求6所述的方法，其中所述溝槽底面為優先潤濕的，且所述自組裝嵌段共聚物膜包含所述第二聚合物嵌段的基質中的所述第一聚合物嵌段的平行定向半圓柱域。

9.如權利要求6所述的方法，其進一步包含在形成所述嵌段共聚物膜之前，將所述溝槽的所述底面化學圖案化以形成優先潤濕與中性潤濕區域的所述組合，

其中所述嵌段共聚物膜包含圓柱相嵌段共聚物。

10.如權利要求6所述的方法，其進一步包含將油墨材料涂覆至所述自組裝嵌段共聚物膜的表面，其中所述油墨材料選擇性地被吸收到所述第一聚合物嵌段中且使所述第一聚合物嵌段膨脹，但不被吸收到所述第二聚合物嵌段中且不使所述第二聚合物嵌段膨脹。

11.如權利要求10所述的方法，其中所述油墨化學物是選自由以下組成的群組：硫醇、巰基醇和具有選自由烴基、醇基、硫醇基、胺基和鹵基組成的群組的尾部官能團的炔系物。

12.一種在襯底上形成圖案的方法，其包含：

將油墨材料涂覆至包含自組裝嵌段共聚物膜的印模表面，其中所述油墨材料選擇性地被吸收到所述嵌段共聚物膜的第一聚合物嵌段中且使所述第一聚合物嵌段膨脹，但不被吸收到第二聚合物嵌段中且不使所述第二聚合物嵌段膨脹；

使所述印模表面與所述襯底接觸以將所述油墨材料轉移到所述襯底上以形成所述圖案。

13.如權利要求12所述的方法，其中所述受體襯底包含縮水甘油氧基、異氰酸酯基、烷基疊氮基或氯硅烷基官能團；且

所述油墨材料是通過使所述油墨材料與所述襯底經由選自由脲鍵、氨酯鍵、二硫鍵、酸-堿鍵或胺鍵組成的群組的鍵化學鍵結而轉移。

14.如權利要求13所述的方法，其進一步包含選擇性地沉積材料于所述襯底上的所述油墨材料上以增加所述油墨材料的厚度或硬度。

15.如權利要求14所述的方法，蝕刻所述襯底，其中所述油墨材料上的所述材料掩蔽所述襯底。

16.如權利要求12所述的方法，其進一步包含在所述襯底的暴露區域上選擇性地形成材料，所述材料在化學上不同于所述油墨材料。