[發(fā)明專利]太陽(yáng)能電池的制造方法以及太陽(yáng)能電池的制造裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980103617.3
• 申請(qǐng)日: 2009-03-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101933155A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山室和弘;佐藤誠(chéng)一;矢作充;湯山純平;中村久三
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社愛(ài)發(fā)科
• 主分類號(hào): H01L31/04
• 分類號(hào): H01L31/04;G01R31/00
• 代理公司: 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 楊晶;王琦

1.一種太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于，

形成包含多個(gè)分區(qū)單元、彼此相鄰的所述分區(qū)單元之間被電連接的光電轉(zhuǎn)換體，

確定所述光電轉(zhuǎn)換體之中具有結(jié)構(gòu)缺陷的分區(qū)單元，

根據(jù)在彼此相鄰的所述分區(qū)單元之間測(cè)量多個(gè)位置的電阻值而獲得的電阻值的分布，來(lái)確定缺陷部位，從而限定在所述分區(qū)單元內(nèi)存在所述結(jié)構(gòu)缺陷的部位，

對(duì)存在所述結(jié)構(gòu)缺陷的部位施加偏置電壓來(lái)去除所述結(jié)構(gòu)缺陷。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于，在去除所述結(jié)構(gòu)缺陷時(shí)，對(duì)在限定存在所述結(jié)構(gòu)缺陷的部位時(shí)用于電阻值測(cè)量的測(cè)量端子，施加偏置電壓。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于，在限定存在所述結(jié)構(gòu)缺陷的部位時(shí)，至少分兩階段以上改變電阻值的測(cè)量密度來(lái)進(jìn)行測(cè)量。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3的任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于，在限定存在所述結(jié)構(gòu)缺陷的部位時(shí)，電阻值的測(cè)量使用四探針式電阻測(cè)量裝置。

5.一種太陽(yáng)能電池的制造裝置，具有包含多個(gè)分區(qū)單元的光電轉(zhuǎn)換體，其特征在于，所述太陽(yáng)能電池的制造裝置包括：

電阻測(cè)量部，為了限定在所述光電轉(zhuǎn)換體之中具有結(jié)構(gòu)缺陷的所述分區(qū)單元內(nèi)存在結(jié)構(gòu)缺陷的部位，在彼此相鄰的所述分區(qū)單元之間，測(cè)量多個(gè)位置的電阻值。