[發明專利]使用多臺攝像機的襯底檢查

有效

• 申請號: 200980102439.2
• 申請日: 2009-01-11
• 公開（公告）號: CN101910822A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發明（設計）人: 奧弗·薩菲爾;伊斯雷爾·沙皮拉;雅科夫·戴維迪
• 申請（專利權）人: 奧博泰克有限公司
• 主分類號: G01N21/00
• 分類號: G01N21/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 史新宏

1.一種用于檢查的裝置，包含：

包含多臺攝像機的成像組件，所述多臺攝像機安裝在所述成像組件中的各自不同地點中，并被配置成捕獲樣品的各自圖像；

運動組件，被配置成移動所述成像組件和所述樣品的至少一個，以便使所述成像組件以受預定位置公差限制的掃描精度掃描所述樣品；以及

圖像處理器，耦合成接收和處理所述攝像機捕獲的圖像，以便以比所述位置公差優良的位置精度定位所述樣品中的缺陷。

2.按照權利要求1所述的裝置，其中，各自圖像的每個包含具有與所述成像組件中的所述攝像機捕獲的一個或多個相鄰圖像重疊的區域的所述樣品的各自區域，以及其中所述圖像處理器被配置成使用重疊區域相互對齊各自圖像，以便計算缺陷的位置。

3.按照權利要求2所述的裝置，其中，所述相鄰圖像具有在所述運動組件的位置公差內變化的各自相對偏移，以及其中所述圖像處理器被配置成計算所述各自相對偏移。

4.按照權利要求3所述的裝置，其中，所述圖像包含具有間距的像素，并且其中所述圖像處理器被配置成以比所述間距優良的精度計算所述各自相對偏移，并使用所述各自相對偏移組合圖像，以產生具有比所述間距優良的分辨率的合成圖像。

5.按照權利要求2所述的裝置，其中，所述圖像包括具有像素值的像素并且具有給定信噪比(SNR)，以及其中所述圖像處理器被配置成求和重疊區域中相鄰圖像的像素值，以便產生具有比給定SNR大的SNR的合成圖像。

6.按照權利要求2所述的裝置，其中，所述圖像處理器被配置成響應出現在至少一臺所述攝像機捕獲的各自圖像中的所述樣品上的周期性模式、和所述運動組件引起的所述樣品與所述成像組件之間的相對運動地恢復虛擬位置時鐘，并將所述虛擬位置時鐘用在相互對齊各自圖像中。

7.按照權利要求1所述的裝置，包含至少一個光源，所述至少一個光源被配置成在所述成像組件掃描所述樣品期間至少在第一和第二不同照明配置下照明所述樣品，以便所述攝像機捕獲的圖像至少包含掃描時在不同位置上分別在所述第一和第二照明配置下捕獲的第一和第二組圖像。

8.按照權利要求1所述的裝置，其中，所述運動組件被配置成不抓住所述樣品地使所述樣品相對于所述成像組件運動。

9.按照權利要求1所述的裝置，其中，所述多臺攝像機包含至少二十臺攝像機。

10.按照權利要求9所述的裝置，其中，所述多臺攝像機包含至少一百臺攝像機。

11.按照權利要求1所述的裝置，其中，所述成像組件中的所述攝像機沿著與所述運動組件的掃描方向垂直的方向排列在至少一行中的各自位置中，以便每臺所述攝像機隨著所述成像組件掃描所述樣品捕獲的圖像沿著所述運動組件的掃描方向覆蓋各自一長條所述樣品，和以便在所述成像組件跨過所述樣品的單次掃描中這些長條一起覆蓋所述樣品的整個有效區。

12.按照權利要求11所述的裝置，其中，所述至少一行至少包含第一和第二行，以及其中所述第一行中的所述攝像機的各自位置相對于所述第二行中的所述攝像機的位置在橫向是錯開的。

13.按照權利要求1所述的裝置，其中，所述運動組件被配置成使所述成像組件沿著掃描方向掃描所述樣品，并且其中所述裝置包含至少一臺后續檢查攝像機和一個橫向運動單元，所述橫向運動單元被配置成在所述成像組件掃描所述樣品的同時，使所述至少一臺后續檢查攝像機沿著與掃描方向垂直的方向移動，以便所述至少一臺后續檢查攝像機對所述圖像處理器定位的缺陷區域成像。

14.按照權利要求13所述的裝置，其中，所述圖像處理器被配置成計算誤差信號，所述誤差信號指示所述運動組件的運動相對于理想運動模型的偏差，并響應所述誤差信號驅動所述至少一臺后續檢查攝像機對所述缺陷區域成像。

15.一種用于檢查的方法，包含：

以受預定位置公差限制的掃描精度，使用包含多臺攝像機的成像組件掃描樣品，所述多臺攝像機安裝在所述成像組件中的各自不同地點中；

在掃描所述樣品的同時利用所述攝像機捕獲所述樣品的各自圖像；以及

處理所述攝像機捕獲的圖像，以便以比所述位置公差優良的位置精度定位所述樣品中的缺陷。