[發明專利]向電子源供電的設備和方法以及離子轟擊致二次發射電子源有效
| 申請號： | 200980101928.6 | 申請日： | 2009-01-08 |
| 公開（公告）號： | CN101952927A | 公開（公告）日： | 2011-01-19 |
| 發明（設計）人： | 馬克西姆·馬卡羅夫 | 申請（專利權）人： | 埃克西可集團公司 |
| 主分類號： | H01J3/02 | 分類號： | H01J3/02 |
| 代理公司： | 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 張文;黃啟行 |
| 地址： | 比利時*** | 國省代碼： | 比利時;BE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電子 供電 設備 方法 以及 離子 轟擊 二次 發射 | ||
1.一種用于低壓室中的離子轟擊致二次發射電子源的電源設備(14)，其包括控制輸入端和兩個高電壓輸出端，其特征在于所述電源設備包括：用于在一個高電壓輸出端產生多個正脈沖的裝置；以及用于在所述正脈沖中的至少一些脈沖之后在另一個高壓輸出端產生負脈沖的裝置。
2.根據權利要求1所述的電源設備，包括用于在所述用于產生多個正脈沖的裝置的操作結束和所述用于產生負脈沖的裝置的操作開始之間產生延遲的裝置。
3.根據權利要求1或2所示的電源設備，其中，所述用于產生多個正脈沖的裝置配置為使得第一脈沖處于比后續脈沖的電壓更高的電壓。
4.一種用于向低壓室(3)中的離子轟擊致二次發射電子源(1)供電的方法，其中，在一個高電壓輸出端產生多個正脈沖(18)，以及在所述正脈沖中的至少一些正脈沖之后在另一個高電壓輸出端產生負脈沖(19)。
5.根據前述權利要求之一所述的方法，其中，不等于零的延遲使所述正脈沖的末尾與所述負脈沖的起點分離開。
6.根據前述權利要求之一所述的方法，其中，第一正脈沖的峰值電壓大于后續正脈沖的峰值電壓。
7.根據權利要求6所述的方法，其中，所述后續正脈沖的峰值電壓基本上相等。
8.根據權利要求6或7所述的方法，其中，所述后續正脈沖的持續時間基本上恒定。
9.根據前述權利要求之一所述的方法，其中，在老化的過程中增加至少一個脈沖的電壓。
10.一種電子源(1)，包括：低壓室(3)；加速室(2)；位于所述加速室中的陰極(10)；位于所述低壓室中的陽極；以及根據權利要求1至3任意之一所述的電源設備(14)；其中，一個高電壓輸出端連接到所述陽極(12)，另一個高電壓輸出端連接到所述陰極(10)。
11.根據權利要求10所述的電子源，包括：供用于產生多個正脈沖的裝置和用于產生負脈沖的裝置使用的命令模塊(17)。
12.根據權利要求10或11所述的電子源，其中，所述陽極(12)包括在兩端供電的金屬絲，所述低壓室在所述金屬絲的方向上延伸。
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