[發明專利]多光束鉆孔系統

有效

• 申請號: 200980101729.5
• 申請日: 2009-01-11
• 公開（公告）號: CN101909804A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發明（設計）人: B·納韋;Z·柯特勒;H·格蘭
• 申請（專利權）人: 以色列商奧寶科技股份有限公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 任永武

1.一種于一基板中具有變化同時性的激光鉆孔方法，包含：

操作一激光，以產生一單一輸出光束，該單一輸出光束的多個脈波具有一總能量；

以隨時間變化的一程度，劃分該單一輸出光束為多個光束；以及

施加該多個光束至該基板上的多個鉆孔位置，包含：

利用該多個光束中具有一脈波能量的相應光束，同時鉆制多個孔的第一部分，該脈波能量是該總能量的一第一分率；以及

此后，利用該多個光束中分別具有一脈波能量的至少一個光束，鉆制該多個孔至少其中之一的至少一第二部分，該脈波能量是該總能量的至少一第二分率，該第二分率系不同于該第一分率。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，該第一分率是該多個孔的數量的一函數。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，該第二分率是該多個孔的數量的一函數，而該多個孔具有鉆制的該至少一第二部分。

4.一種于一基板中具有變化同時性的激光鉆孔方法，包含：

操作一激光，以產生具有一總功率的一單一輸出光束；

以隨時間變化的一程度，劃分該單一輸出光束為多個光束；以及

施加該多個光束至該基板上的多個鉆孔位置，包含：

利用該多個光束中具有一光束功率的相應光束，同時鉆制多個孔的第一部分，該光束功率是該總功率的一第一分率；以及

此后，利用該多個光束中分別具有一光束功率的至少一光束，鉆制該多個孔至少其中之一的至少一第二部分，該光束功率是該總功率的至少一第二分率，該第二分率是不同于該第一分率。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，該第一分率是該多個孔的數量的一函數。

6.根據權利要求4或5所述的方法，其特征在于，該第二分率是該多個孔的數量的一函數，而該多個孔具有鉆制的該至少一第二部分。

7.根據權利要求4-6中任一項所述的方法，其特征在于，該單一輸出光束包含以一脈波重復率產生的多個具有單一光束脈波能量的脈波，且其中該多個光束中鉆制多個孔的第一部分的所述這些光束包含具有該脈波重復率且脈波能量為所述這些單一光束脈波能量的該第一分率的脈波。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，該多個光束中鉆制該多個孔至少其中之一的至少一第二部分的該至少一光束包含具有該脈波重復率且脈波能量為所述這些單一光束脈波能量的至少該第二分率的脈波。

9.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，該多個光束中鉆制該多個孔至少其中之一的至少一第二部分的該至少一光束包含具有該脈波重復率的一因子且脈波能量為所述這些單一光束脈波能量的一函數的脈波，其中該因子及該函數是因應該第二分率被選擇。

10.根據權利要求4-6中任一項所述的方法，其特征在于，該單一輸出光束包含以一脈波重復率所產生的多個具有單一光束脈波能量的脈波，且其中該多個光束中鉆制多個孔的第一部分的所述這些光束包含具有該脈波重復率的一第一因子且脈波能量為所述這些單一光束脈波能量的一第一函數的脈波，該第一因子是因應該第一分率被選擇。

11.根據權利要求10所述的方法，其特征在于，該多個光束中鉆制該多個孔至少其中之一的至少一第二部分的該至少一光束包含具有該脈波重復率的一第二因子且脈波能量為所述這些單一光束脈波能量的一第二函數的脈波，該第二因子及該第二函數是因應該第二分率被選擇。