[實用新型]真空濺射鍍膜設備用電源切換裝置

無效

• 申請號: 200920299423.2
• 申請日: 2009-12-21
• 公開（公告）號: CN201584682U
• 公開（公告）日: 2010-09-15
• 發明（設計）人: 汪洪波;王君;楊林生
• 申請（專利權）人: 汪洪波
• 主分類號: H02B13/00
• 分類號: H02B13/00
• 代理公司: 安徽省合肥新安專利代理有限責任公司 34101
• 代理人: 何梅生

技術領域

本實用新型所涉及一種電源切換裝置，更具體地說是一種可用于磁控濺射鍍膜設備及類似氣相沉積設備中，使用相同類型電源為多個不同時工作的濺射源或使用不同類型電源，在電源與電源使用對象，如磁控濺射源之間的切換。

背景技術

真空濺射鍍膜設備，尤其是科研院所、大專院校用于教學、研究用的設備，由于涉及的膜系種類繁多，往往需要采用多個磁控濺射源及多種類型的電源，如直流、中頻和射頻等。在試驗操作過程中，對于確定的磁控濺射源，在制備金屬薄膜時，需要使用直流磁控濺射電源；在制備介質薄膜時，需使用中頻或射頻電源。這樣會涉及到同一個濺射源在使用不同電源時需要進行切換的問題。另一方面，如果濺射源的數量增多，但工藝上進行分析后又不需同時工作，而目前單臺濺射電源往往僅能為一個或兩個濺射源提供切換，通常情況下需要通過手動插拔連接電纜線來進行切換操作，這顯然增加了操作上帶來的不便，并且經常插拔電纜線可能會損壞零部件，配置多臺電源則會增加成本。

實用新型內容

本實用新型是為避免上述現有技術所存在的不足之處，提供一種真空濺射鍍膜設備用電源切換裝置，以期提高濺射電源、磁控濺射源的利用率，提高濺射鍍膜設備操作的方便性和自動化程度。

本實用新型解決技術問題采用如下技術方案：

本實用新型真空濺射鍍膜設備用電源切換裝置的結構特點是設置包括有前面板和后面板的箱體，濺射源控制按鈕設置在前面板上，輸入端子、輸出端子和控制線端子分別設置在后面板上，所述箱體由金屬隔板分隔為上層射頻區域和下層控制區域，各繼電器固定設置在金屬隔板上，繼電器中的強電端位于上層射頻區域中，繼電器的弱電控制端位于下層控制區域中；在所述繼電器的強電端、輸入端子和輸出端子之間按照設定的邏輯順序通過紫銅片進行連接；在所述繼電器的弱電控制端與控制線端子以及濺射源控制按鈕之間通過電纜線按設定的邏輯順序相連接。

本實用新型的結構特點也在于在所述箱體的后面板上設置有PLC控制端子。

與已有技術相比，本實用新型有益效果體現在：

本實用新型可以有效提高濺射電源、磁控濺射源的利用率，提高濺射鍍膜設備操作的方便性。比如，在四個濺射源中每一時刻最多僅兩個濺射源同時工作時，利用本實用新型只要配備兩臺電源即可滿足使用要求。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

圖2為本實用新型繼電器接線示意圖。

圖3、圖4和圖5為本實用新型不同工作狀態下的接線示意圖。

圖中標號：1濺射源控制按鈕；2前面板；3金屬隔板；4強電端；5上層射頻區域；6后面板；7輸入端子；8輸出端子；9控制線端子；10為PLC控制端子；11下層控制區域；12繼電器；13弱電控制端子；14箱體。

具體實施方式

參見圖1，本實施例中的真空濺射鍍膜設備用電源切換裝置的結構特點是設置包括有前面板2和后面板6的箱體14，濺射源控制按鈕1設置在前面板2上，輸入端子7、輸出端子8、控制線端子9以及PLC控制端子10分別設置在后面板6上，箱體14由金屬隔板3分隔為上層射頻區域5和下層控制區域11，各繼電器12固定設置在金屬隔板3上，繼電器12中的強電端4位于上層射頻區域5中，繼電器12的弱電控制端13位于下層控制區域11中；在繼電器12的強電端4、輸入端子7和輸出端子8之間按照設定的邏輯順序通過紫銅片進行連接；在繼電器12的弱電控制端13與控制線端子9以及濺射源控制按鈕1之間通過電纜線按設定的邏輯順序相連接。

本實施例中，金屬隔板3可以保證上層射頻區域5和下層控制區域11之間的電氣絕緣，控制線端子9和PLC控制端子10均安裝在后面板6的下層；輸入端子7和輸出端子8均安裝在后面板6的上層；電源信號從后面板6的輸入端子7輸入，并用紫銅片連接到繼電器12的強電端4上，再經紫銅片連接到輸出端子8輸出；控制信號從控制線端子9輸入，并按設定的邏輯順序用連接電纜線分別連接到各個繼電器的弱電控制端子13和前面板2上相應的濺射源控制按鈕1上，通過濺射源控制按鈕1可以使得相關的繼電器的觸點閉合或斷開，從而控制相應濺射源與電源的接通或斷開。

此外，后面板6上預留的PLC控制端子10可供遠程控制功能擴展用；在輸出端子8上采用平波電感和濾波電容來消除切換過程中帶來的噪聲干擾，輸入端子7、輸出端子8及紫銅片之間的距離要滿足電氣絕緣要求。

在切換時，如需從正通電狀態的濺射源切換至另一待通電的濺射源，則必須先斷開此時正在通電的濺射源控制按鈕，才能接通帶通電的濺射源控制按鈕。