[實用新型]在平面光柵制作過程中精確控制光柵常數(shù)的裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920292090.0
• 申請日: 2009-12-17
• 公開（公告）號: CN201589872U
• 公開（公告）日: 2010-09-22
• 發(fā)明（設計）人: 王琦;張大偉;黃元申;高秀敏;倪爭技;莊松林;詹曉勇
• 申請（專利權(quán)）人: 上海理工大學
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18
• 代理公司: 上海東創(chuàng)專利代理事務所(普通合伙) 31245
• 代理人: 寧芝華

技術(shù)領域

本實用新型屬于光譜技術(shù)領域，特別涉及一種在平面光柵制作過程中精確控制光柵常數(shù)的裝置。

背景技術(shù)

衍射光柵非常重要的技術(shù)指標之一——光柵周期決定著光柵的色散率和分辨率。對于光譜儀器而言，光柵常數(shù)的改變將導致光柵衍射角的改變，使得光譜儀器譜線位置產(chǎn)生偏移，因此，光柵常數(shù)的準確性直接影響光譜儀器的波長精度，在制作過程中必須嚴格控制。

在全息光柵的制作過程中，一個關(guān)鍵的工藝流程就是，將涂有光致抗蝕劑的光柵基底放在干涉場中，由光致抗蝕劑記錄干涉場中的干涉條紋。當曝光波長一定時，周期唯一決定于兩束平行光的夾角。常規(guī)檢測周期的方法一般都是在完成光柵制作后，通過測量光柵0級和1級衍射光的夾角來計算光柵周期，測量誤差較大，光路調(diào)整過程沒有固定的基準可依，僅憑經(jīng)驗進行調(diào)整，往往要經(jīng)過多個光柵制作回合，并且很難達到要求的精度。

除此之外，在相關(guān)的在先專利文獻方面，如中國實用新型專利案(公開號CN?1544994A)，通過在全息光柵曝光裝置中置入標準機刻光柵和半反射鏡，再從準直反射鏡光路中分出光路，使其產(chǎn)生干涉條紋，這會導致所需要的光柵周期完全取決于所置入的標準機刻光柵，在控制光柵周期實施上會有不便。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于，提供一種簡便易行的在平面光柵制作過程中精確控制光柵常數(shù)的裝置。

本實用新型采用如下技術(shù)方案：

一種在平面光柵制作過程中精確控制光柵常數(shù)的裝置，包括：

光源和依次位于所述光源的光路上的：

空間濾波器；

凹面鏡，所述空間濾波器位于所述凹面鏡焦點位置處；

第三反射鏡和第四反射鏡；

凸透鏡，位于曝光位置處；

接收屏，位于所述凸透鏡的后焦面上；

其中，所述第三反射鏡和第四反射鏡用于分別反射一束由所述凹面鏡反射出的干涉條紋平行光于所述凸透鏡上。

進一步地，所述光源為441.6nm波長的氦鎘激光器。

進一步地，在所述光源和空間濾波器之間的光路上還包括第一反射鏡和第二反射鏡。

進一步地，所述第一反射鏡和第二反射鏡為玻璃基底鍍鋁反射鏡。

本實用新型提供的在平面光柵制作過程中精確控制光柵常數(shù)的裝置，對于制作不同周期的光柵調(diào)節(jié)方便，并且控制光柵周期精度高。

以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型加以詳細說明。

附圖說明

圖1為本實用新型在平面光柵制作過程中精確控制光柵常數(shù)的裝置實施例結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型實施例在全息光柵曝光裝置光路的結(jié)構(gòu)示意圖。

標號說明：

1光源??????????????6第四反射鏡

2第一反射鏡????????7凹面鏡

3第二反射鏡????????8涂有光致抗蝕劑的光柵基底

4空間濾波器????????9凸透鏡

5第三反射鏡????????10接受屏

具體實施方式

如圖1、圖2所示，一種在平面光柵制作過程中精確控制光柵常數(shù)的裝置，包括光源1和依次位于所述光源1的光路上的：

空間濾波器4，包括顯微物鏡和針孔；

凹面鏡7，所述空間濾波器4位于所述凹面鏡7焦點位置處；

第三反射鏡5和第四反射鏡6；

凸透鏡9，位于曝光位置處；即涂有光致抗蝕劑的光柵基底8所在位置處；

接收屏10，位于所述凸透鏡9的后焦面上；

其中，所述第三反射鏡5和第四反射鏡6用于分別反射一束由所述凹面鏡7反射出的干涉條紋平行光于所述凸透鏡9上；經(jīng)過第三反射鏡5和第四反射鏡6反射的兩束平行光照射所述凸透鏡9上后，在所述接收屏10上形成兩個光斑A和B。

其中，所述光源1采用波長為441.6nm的氦鎘激光器。

其中，在所述光源1和空間濾波器4之間的光路上還包括第一反射鏡2和第二反射鏡3，所述光源1發(fā)出的光經(jīng)所述第一反射鏡2和第二反射鏡3反射后，進入所述空間濾波器4。本實施例中所述第一反射鏡2和第二反射鏡3采用玻璃基底鍍鋁反射鏡。

其中，所述接收屏10采用普通的毛玻璃，制作全息光柵基底采用K9光學玻璃，K9光學玻璃上涂覆的光致抗蝕劑為德國生產(chǎn)的APR3120型光致抗蝕劑。

上述在平面光柵制作過程中精確控制光柵常數(shù)的裝置，光柵常數(shù)d的計算步驟如下：

步驟1)、通過第三反射鏡5和第四反射鏡6使產(chǎn)生的干涉條紋的兩束平行光通過所述凸透鏡9，在位于所述凸透鏡9焦距處的接收屏10上產(chǎn)生兩個匯聚焦點光斑；