[實用新型]運動部件位置的真空信號引出裝置

無效

• 申請號: 200920288412.4
• 申請日: 2009-12-25
• 公開（公告）號: CN201569447U
• 公開（公告）日: 2010-09-01
• 發明（設計）人: 佟雷;汪良;孫影;林秀青;佟輝
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
• 主分類號: G01D5/34
• 分類號: G01D5/34
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

技術領域

本實用新型涉及將真空環境內的信號引出到大氣環境的設備，具體地說是一種運動部件位置的真空信號引出裝置。

背景技術

目前，現有的真空信號引出裝置可以分為兩種，其中一種是將觸點開關和接電線纜等器件直接置于真空環境中，接線端通過真空陶瓷封接等方式將電線引出。這種方式要求觸點開關的外殼和機芯都要使用不銹鋼金屬材料，才能滿足真空放氣率和耐高溫性等指標；而且采用這種方式一旦在使用過程中觸點開關損壞的話，就必須要系統停機破壞真空方能取出更換，給操作帶來較大不便。另一種真空信號引出裝置采用光感方式，其結構原理是在一端的大氣環境中布置一個光束發生裝置，通過玻璃等透光材料媒介將光束引入真空環境，光束直線穿過真空和玻璃媒介被相對的位于另一端大氣環境中的光感開關捕集并轉換成電信號輸出。這種方式的缺點是只能用于清潔的真空環境中，因為一旦玻璃等透光媒介被遮擋或污染，或是被其它光源干擾，光束線就不能有效穿過，從而就不會產生信號輸出或是產生錯誤信號。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種運動部件位置的真空信號引出裝置。該裝置將機械觸點放置在真空環境內，將光電開關放置在大氣環境中，通過剛性傳遞將運動部件的位置信號從真空中引出，克服了上述兩種現有方式的不足。

本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的：

本實用新型包括直桿、波紋管、法蘭、光電開關及豎直套管，其中波紋管及法蘭依次套設在直桿上，波紋管的一端與直桿相連，另一端與法蘭的一端連接，法蘭的另一端與真空室密封連接；所述直桿位于法蘭以下的部分插入真空室內、且底端設有與運動部件滾動摩擦的觸點，直桿靠近頂端的位置上設有通光狹縫，所述光電開關安裝在法蘭上、位于直桿設有通光狹縫的兩側；在直桿位于真空室內部分的外部套設有與法蘭相連的豎直套管，該豎直套管與直桿之間設有限制直桿徑向平動自由度的導向銅套。

其中：在直桿的頂端設有維持裝置靜平衡并保持觸點距運動部件相對高度位置的調節裝置，該調節裝置包括固定支板、調節螺栓及鎖緊螺母，其中固定支板安裝在直桿的頂端，調節螺栓螺紋連接在固定支板上，通過鎖緊螺母鎖死；所述光電開關與橫支板的一端相連，橫支板的另一端與豎支板的一端連接，豎支板的另一端安裝在法蘭上，通過橫、豎支板可調整光電開關的位置；所述豎直套管的頂端與法蘭相連，豎直套管與法蘭之間設有套在直桿上的上導向銅套，豎直套管的底端通過彈性擋圈壓緊有套在直桿上的下導向銅套；所述直桿的底端通過彈性圓柱銷軸鉸接有滾動軸承，該彈性圓柱銷軸和滾動軸承共同構成觸點與運動部件接觸；所述直桿軸向運動的真空密封為波紋管動密封。

本實用新型的優點與積極效果為：

1.本實用新型通過剛性傳遞將機械觸點信號(即運動部件的位置信號)從真空環境中引出，并通過光電開關發出的光束被遮擋或由通光狹縫透過轉換成精確的光電信號輸出，運動定位精確，信號響應及時。

2.本實用新型在金屬的直桿頂端固定了帶有螺紋連接調整螺栓的固定支板，通過調節螺栓阻礙直桿受大氣壓作用向下的運動趨勢，維持裝置的靜平衡并保持觸點距運動部件的相對高度位置。

3.本實用新型的光電開關通過橫、豎支板安裝在法蘭上，通過對橫、豎支板的調節可以調整光電開關的位置。

4.本實用新型在直桿上套設了上、下導向銅套，可以限制直桿的徑向平動的自由度，保證直桿只能沿軸向方向運動。

5.本實用新型與運動部件的觸點采用彈性圓柱銷軸與滾動軸承配合的方式，滾動軸承可轉動，使觸點處的摩擦力保持為較小的滾動摩擦力。

6.本實用新型結構簡單，使用方便。

附圖說明

圖1為本實用新型的主視圖；

圖2為圖1的俯視圖；

圖3為圖1的A-A剖視圖；

圖4為本實用新型的力學原理圖；

其中：1為固定支板，2為直桿，3為波紋管，4為法蘭，5為光電開關，6為橫支板，7為第一固定螺釘，8為第二固定螺釘，9為固定螺母，10為豎支板，11為固定螺栓，12為鎖緊螺母，13為調節螺栓，14為上導向銅套，15為第三固定螺釘，16為豎直套管，17為下導向銅套，18為彈性擋圈，19為彈性圓柱銷軸，20為滾動軸承，21為運動部件，22為通光狹縫，23為沉頭螺釘。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步詳述。