[實用新型]制造藍光刻錄光盤的生產系統

無效

• 申請號: 200920274207.2
• 申請日: 2009-12-01
• 公開（公告）號: CN201638560U
• 公開（公告）日: 2010-11-17
• 發明（設計）人: 范繼良;楊明生
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: G11B7/26
• 分類號: G11B7/26
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種制造藍光刻錄光盤的生產系統，其包括傳輸帶、第一濺鍍站、第二濺鍍站、染料涂布機構、旋涂固化機構、清邊機構及檢測機構，所述第一濺鍍站用于濺鍍金屬反射層，所述第二濺鍍站用于濺鍍緩沖層，所述染料涂布機構用于旋涂染料層并進行檢測和烘干，所述旋涂固化機構用于旋涂保護層并進行固化，所述清邊機構用于清理基片周邊有效區域外的形成物，所述檢測機構用于檢測質量；所述清邊機構包括第一清邊機構及第二清邊機構；所述第一濺鍍站與所述第二濺鍍站之間設置有所述染料涂布機構，所述第二濺鍍站與所述旋涂固化機構之間設置有所述第一清邊機構，所述旋涂固化機構與所述檢測機構連接，其特征在于：

所述染料涂布機構包括第一染料碗、掃描儀及烘烤箱，所述第一染料碗具有下料手，所述第一染料碗通過傳輸帶與所述第一濺鍍站連接，所述掃描儀連接于所述第一染料碗與所述烘烤箱之間，所述烘烤箱與所述第二濺鍍站連接；

所述旋涂固化機構包括第一旋涂固化機構、第二旋涂固化機構及第三旋涂固化機構，所述第一旋涂固化機構與所述第一清邊機構連接，所述第三旋涂固化機構與所述檢測機構連接，所述第一旋涂固化機構包括并列設置的第一旋涂碗及第一固化單元，所述第二旋涂固化機構包括并列設置的第二旋涂碗及第二固化單元，所述第三旋涂固化機構包括并列設置的第三旋涂碗及第三固化單元，所述第一旋涂碗、第二旋涂碗及第三旋涂碗均具有下料手；

所述第二清邊機構連接于所述第一旋涂固化機構與所述第二旋涂固化機構之間。

2.如權利要求1所述的制造藍光刻錄光盤的生產系統，其特征在于：所述染料涂布機構還包括與所述第一染料碗并排的且具有下料手的第二染料碗，所述第一染料碗與第二染料碗通過呈“V”型的第一機械手與所述傳輸帶連接。

3.如權利要求2所述的制造藍光刻錄光盤的生產系統，其特征在于：所述染料涂布機構還包括并排的且具有下料手的第三染料碗及第四染料碗，所述第三染料碗及第四染料碗與所述第一染料碗及第二染料碗對稱設置并通過呈“V”型的第二機械手與所述傳輸帶連接。

4.如權利要求1所述的制造藍光刻錄光盤的生產系統，其特征在于：所述第一旋涂固化機構還包括并列設置的第四旋涂碗及第四固化單元，所述第四旋涂碗及第四固化單元與所述第一旋涂碗及第一固化單元對稱設置且四者之間通過具有三個機械臂的第四機械手連接，所述第四旋涂碗具有下料手。

5.如權利要求1所述的制造藍光刻錄光盤的生產系統，其特征在于：所述第二旋涂固化機構還包括并列設置的第五旋涂碗及第五固化單元，所述第五旋涂碗及第五固化單元與所述第二旋涂碗及第二固化單元對稱設置且四者之間通過具有三個機械臂的第五機械手連接，所述第五旋涂碗具有下料手。

6.如權利要求5所述的制造藍光刻錄光盤的生產系統，其特征在于：所述第三旋涂固化機構還包括與所述第三旋涂碗對稱設置并具有下料手的第六旋涂碗，所述第三旋涂碗、第三固化單元及第六旋涂碗之間通過具有三個機械臂的第六機械手連接。

7.如權利要求6所述的制造藍光刻錄光盤的生產系統，其特征在于：還包括第三暫存轉盤，所述第三暫存轉盤連接于所述檢測機構和對稱設置的第三旋涂碗及第六旋涂碗之間，所述第三旋涂碗、第六旋涂碗及所述第三暫存轉盤通過所述第六機械手連接，所述第三固化單元連接于所述第三暫存轉盤上。

8.如權利要求7所述的制造藍光刻錄光盤的生產系統，其特征在于：還包括第一暫存轉盤及第二暫存轉盤，所述第一暫存轉盤連接于所述第二清邊機構與所述第二旋涂固化機構之間，所述第二暫存轉盤連接于所述第二旋涂固化機構與所述第三旋涂固化機構之間，所述第一暫存轉盤、第二旋涂固化機構及第二暫存轉盤之間通過所述第五機械手連接，所述第二暫存轉盤與第三旋涂固化機構之間通過第六機械手連接。

9.如權利要求1所述的制造藍光刻錄光盤的生產系統，其特征在于：所述第一清邊機構包括相互對稱設置的第一洗邊碗及第二洗邊碗，所述第一洗邊碗與第二洗邊碗通過呈直角的第三機械手連接于所述第二濺鍍站與所述第一旋涂固化機構之間。

10.如權利要求7所述的制造藍光刻錄光盤的生產系統，其特征在于：還包括用于翻轉碟片的翻碟機構，所述翻碟機構與所述第三暫存轉盤連接，所述檢測機構與所述翻碟機構連接。