[實(shí)用新型]一種定量測試力電性能與顯微結(jié)構(gòu)的傳感器無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200920269907.2 | 申請(qǐng)日： | 2009-10-30 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN201522985U | 公開（公告）日： | 2010-07-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 韓曉東;劉攀;岳永海;張澤 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | H01J37/02 | 分類號(hào)： | H01J37/02;H01J37/26;G01N13/00;G01L1/22;H01J9/00;B81B7/02;B81C1/00;B81C99/00 |
| 代理公司： | 北京思海天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11203 | 代理人： | 劉萍 |
| 地址： | 100124 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 定量 測試 性能 顯微結(jié)構(gòu) 傳感器 | ||
1.定量測試力電性能與顯微結(jié)構(gòu)的傳感器，其特征在于：一個(gè)中空的結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)自下而上由阻擋層、硅襯底、外延層α和絕緣層組成；該結(jié)構(gòu)中間部分的阻擋層和部分硅襯底被刻蝕，剩余的周邊部分包括阻擋層、硅襯底、外延層α和絕緣層四層，稱為基礎(chǔ)部分；
中間部分繼續(xù)被刻蝕穿形成壓敏電阻懸臂梁和懸空結(jié)構(gòu)；傳感器的基礎(chǔ)部分上表面向下刻蝕出一個(gè)用于放置雙金屬片的凹槽，凹槽內(nèi)放置雙金屬片后，雙金屬片的上表面與壓敏電阻懸臂梁和懸空結(jié)構(gòu)的上表面處于同一水平面上；
所述的懸空結(jié)構(gòu)，位于兩個(gè)壓敏電阻懸臂梁之間，懸空結(jié)構(gòu)與其中一個(gè)壓敏電阻懸臂梁不接觸，懸空結(jié)構(gòu)的一條邊與這個(gè)懸臂梁的邊緣平行，且懸空結(jié)構(gòu)的這條邊上有一個(gè)突出來的部分，突出部分與雙金屬片不接觸；懸空結(jié)構(gòu)的另一條邊與壓敏電阻懸臂梁接觸；懸空結(jié)構(gòu)通過兩側(cè)的支撐梁連接在基礎(chǔ)部分上；
所述的懸臂梁和基礎(chǔ)部分的上方有一個(gè)惠斯通電橋電路；
所述的惠斯通電橋電路，由四個(gè)完全相同的壓敏電阻組成，位于外延層α和絕緣層之間；其中兩個(gè)壓敏電阻位于基礎(chǔ)部分，作為固定電阻；另外兩個(gè)壓敏電阻位于懸臂梁上方，作為可變電阻。
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