[實用新型]一種電容極板型真空度測量裝置

無效

• 申請號: 200920258923.1
• 申請日: 2009-11-17
• 公開（公告）號: CN201548371U
• 公開（公告）日: 2010-08-11
• 發明（設計）人: 劉保龍;張朝;孫杰;李龍韜;陳同;吳冬雨;張正珣
• 申請（專利權）人: 劉保龍
• 主分類號: G01L21/00
• 分類號: G01L21/00;G01L9/12
• 代理公司: 濟南圣達專利商標事務所有限公司 37221
• 代理人: 張勇

技術領域

本實用新型涉及一種電容極板型真空度測量裝置。

背景技術

在工業生產中，經常遇到進行真空度測量的場合，但是目前真空度測量裝置體積較大，且價值昂貴，使用步驟繁瑣，限制了普通工業場合的應用。

實用新型內容

針對上述不足，本實用新型提供了一種電容極板型真空度測量裝置，這種裝置內部有固定氣壓，隨空間真空度變化電容發生變化從而可以測出空間真空度。

本實用新型通過以下技術實現：

一種電容極板型真空度測量裝置，電容極板型真空度測量裝置，它包括柔性橡膠板I和柔性橡膠板II，柔性橡膠板I內壁設有柔性金屬極板I，柔性橡膠板II內壁設有柔性金屬極板II，兩柔性橡膠板I和柔性橡膠板II端部設有剛性密封圈連接，柔性金屬極板I和柔性金屬極板II通過導線與相應控制電路連接。

所述柔性橡膠板I和柔性橡膠板II為兩塊圓形柔性橡膠板。

所述控制電路包括電阻I，它與柔性金屬極板I和柔性金屬極板II串聯組成第一支路；同時還包括電阻II及串聯的可調電容組成的第二支路；兩支路并聯，同時在電阻I和電阻II間連接交流電壓表。

本實用新型的電容極板型真空度測量裝置，主要由剛性密封圈，柔性橡膠板，柔性金屬極板及相關電路組成，其特征為：該裝置由相對兩塊圓形柔性橡膠板固定在剛性密封圈上構成一個密閉空間，兩塊柔性金屬極板平貼在柔性橡膠板的內側，且向外引有導線，當測量某一密閉空間內的真空度時，將裝置放置其中，在氣壓差的作用下，該裝置的柔性橡膠板變形帶動金屬極板變形，從而改變了由兩塊極板構成的電容器的電容，用圖2所示電路測量該電容值，通過計算即可被測密閉空間的真空度。

本實用新型的優點是，裝置體積小，價格便宜，使用方便，操作安全，特別適合在普通工業場合使用。

附圖說明：

圖1是該裝置的縱剖面構造圖；

圖2是電容測量電路圖；

圖3是該裝置的縱剖面平面圖。

圖中，1、柔性橡膠板I，2、柔性金屬極板I，3、柔性金屬極板II，4、柔性橡膠板II，5、剛性密封圈，6電阻I，7、電阻II。

具體實施例

圖1、圖2、圖3中，該裝置由兩個相對的柔性橡膠板I1及柔性橡膠板II4固定在剛性密封圈5上構成一個密閉空間，柔性金屬極板I2和柔性金屬極板II3分別平貼在柔性橡膠板I1和柔性橡膠板II4的內側，柔性金屬極板I2和柔性金屬極板II3向外引有導線，當測量某一密閉空間的真空度時，該將裝置放置其中，在氣壓的差作用下，該裝置的柔性橡膠板I1和柔性橡膠板II4變形帶動柔性金屬極板I2及柔性金屬極板II3變形，從而改變了由這兩塊極板構成電容器的電容，經圖2電路測量該電容值，通過計算即可被測密閉空間的真空度。控制電路包括電阻I6，它與柔性金屬極板I1和柔性金屬極板II3串聯組成第一支路；同時還包括電阻II7及串聯的可調電容組成的第二支路；兩支路并聯，同時在電阻I6和電阻II7間連接交流電壓表。