[實用新型]一種使用空氣軸承的砂輪主軸

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920258876.0
• 申請日: 2009-11-20
• 公開（公告）號: CN201559121U
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 儲湘華;蔣書運;朱金虎
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫機床股份有限公司
• 主分類號: B24B41/04
• 分類號: B24B41/04
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務(wù)所(普通合伙) 32227
• 代理人: 顧吉云

(一)技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體晶片制造設(shè)備領(lǐng)域，具體為一種使用空氣軸承的砂輪主軸。

(二)背景技術(shù)

國內(nèi)現(xiàn)有電主軸主要通過機械軸承支承，高速旋轉(zhuǎn)振動、噪聲大，同時其精度要求不能達到晶圓磨床砂輪主軸的使用要求。

(三)發(fā)明內(nèi)容

針對上述問題，本實用新型提供了一種使用空氣軸承的砂輪主軸，可大大提高精度、同時可以降低振動和噪聲。

其技術(shù)方案是這樣的：其包括轉(zhuǎn)子主軸、主軸殼體、主軸法蘭、電機、旋變器、主軸后蓋、主軸前蓋、冷卻水接頭，其特征在于：空氣軸承主軸套裝于所述主軸殼體和轉(zhuǎn)子主軸所形成的空腔內(nèi)，所述軸承套的內(nèi)圓面上均布有徑向節(jié)流孔，各個所述徑向節(jié)流孔通過所述空氣軸承主軸和所述主軸殼體內(nèi)部的氣路相互連通，所述主軸殼體上開有連通所述徑向節(jié)流孔的進氣口、出氣口。

其進一步特征在于：所述主軸法蘭上圓端面裝有軸承套、下圓端面裝有上止推軸承，所述上止推軸承與所述主軸前蓋間安裝有止推軸承氣蓋，所述軸承套、上止推軸承內(nèi)部均開有上下位置對稱的軸向節(jié)流孔，所述軸承套、上止推軸承內(nèi)部的氣路分別連通其內(nèi)部的各個所述軸向節(jié)流孔，所述主軸法蘭外圓面端套裝有止推軸承間隙調(diào)整環(huán)，所述上止推軸承內(nèi)部的氣路通過所述止推軸承間隙調(diào)整環(huán)內(nèi)部的氣路連通所述軸承套內(nèi)部的氣路，所述軸承套內(nèi)部的氣路連通所述主軸殼體內(nèi)的氣路，所述上止推軸承內(nèi)部的氣路連通所述上止推軸承、止推軸承氣蓋與所述轉(zhuǎn)子主軸的安裝間隙，所述上止推軸承、止推軸承氣蓋與所述轉(zhuǎn)子主軸的圍成的間隙連通所述止推軸承氣蓋與所述主軸前蓋的安裝間隙，所述止推軸承氣蓋與所述主軸前蓋的安裝間隙連通外部空氣；

所述徑向節(jié)流孔、軸向節(jié)流孔內(nèi)均安裝有節(jié)流器；

所述電機具體為永磁體無刷直流電機，所述主軸殼體開有注水孔連通所述電機的定子，所述定子外壁開有螺旋槽，所述電機連接有所述旋變器；

所述主軸后蓋中心處套裝有冷卻水接頭，所述冷卻水接頭內(nèi)部開有氣路，所述氣路連通所述主軸后蓋的進氣口，所述冷卻水接頭與所述轉(zhuǎn)子主軸的安裝間隙連通所述冷卻水接頭內(nèi)部的氣路，所述冷卻水接頭與所述轉(zhuǎn)子主軸的安裝間隙連通所述轉(zhuǎn)子主軸與所述主軸后蓋的安裝間隙，所述轉(zhuǎn)子主軸與所述主軸后蓋的安裝間隙連通所述轉(zhuǎn)子主軸與所述旋變器的安裝間隙，所述轉(zhuǎn)子主軸與所述旋變器的安裝間隙連通其下部所述電機的安裝空隙，所述電機的安裝空隙連通所述主軸后蓋內(nèi)部的排氣孔；

所述主軸殼體為硬鋁材質(zhì)。

本實用新型的上述結(jié)構(gòu)中，徑向節(jié)流孔的設(shè)置保證通入各個徑向節(jié)流孔的壓縮空氣作用于所述轉(zhuǎn)子主軸，此時由于氣體與所述轉(zhuǎn)子主軸接觸，通過均化作用提高電主軸的加工精度，同時由于無機械接觸，降低噪聲和振動。

(四)附圖說明

圖1是本實用新型的主視圖的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1的A向放大圖；

圖3是圖1的B向放大圖。

(五)具體實施方式

見圖1、圖2、圖3，本實用新型包括轉(zhuǎn)子主軸1、主軸殼體2、主軸法蘭3、電機4、旋變器5、主軸后蓋6、主軸前蓋7、冷卻水接頭8，空氣軸承主軸9套裝于主軸殼體2和轉(zhuǎn)子主軸1所形成的空腔內(nèi)，空氣軸承主軸9的外圓面上均布有徑向節(jié)流孔10，各個徑向節(jié)流孔10通過空氣軸承主軸9的氣路21和主軸殼體2內(nèi)部的氣路22相互連通，主軸殼體2上開有連通徑向節(jié)流孔10的進氣口11、出氣口12。

主軸法蘭3上圓端面裝有軸承套13、下圓端面裝有上止推軸承14，上止推軸承14與主軸前蓋7間安裝有止推軸承氣蓋15，軸承套13、上止推軸承14內(nèi)部均開有上下位置對稱的軸向節(jié)流孔16，軸承套13內(nèi)部的氣路17連通其內(nèi)部的各個軸向節(jié)流孔16，上止推軸承14內(nèi)部的氣路18連通其內(nèi)部的各個軸向節(jié)流孔16，主軸法蘭3外圓面端套裝有止推軸承間隙調(diào)整環(huán)19，上止推軸承14內(nèi)部的氣路18通過止推軸承間隙調(diào)整環(huán)19內(nèi)部的氣路20連通軸承套13內(nèi)部的氣路17，軸承套13內(nèi)部的氣路17連通主軸殼體2內(nèi)的氣路22，上止推軸承14內(nèi)部的氣路18連通上止推軸承14、止推軸承氣蓋15與轉(zhuǎn)子主軸1的安裝間隙23，上止推軸承14、止推軸承氣蓋15與轉(zhuǎn)子主軸的圍成的間隙23連通止推軸承氣蓋15與主軸前蓋7的安裝間隙24，止推軸承氣蓋15與主軸前蓋7的安裝間隙24連通外部空氣；

徑向節(jié)流孔10、軸向節(jié)流孔16內(nèi)均安裝有節(jié)流器25；

電機4具體為永磁體無刷直流電機，主軸殼體2開有注水孔26連通電機4的定子27，定子27外壁開有螺旋槽28，電機4連接旋變器5；