[實用新型]硅棒的多線切割裝置

有效

• 申請號: 200920256523.7
• 申請日: 2009-11-10
• 公開（公告）號: CN201552683U
• 公開（公告）日: 2010-08-18
• 發明（設計）人: 佘毅;楊樂;袁仲明
• 申請（專利權）人: 高佳太陽能股份有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 無錫華源專利事務所 32228
• 代理人: 聶漢欽

技術領域

本實用新型涉及硅晶體的多線切割技術，具體涉及硅棒的多線切割裝置。

背景技術

硅片是半導體和太陽能光伏領域的主要生產材料。硅片多線切割技術是目前采用最廣泛的硅片加工技術，它不同于傳統的刀鋸片、砂輪片等切割方式，也不同于更先進的激光切割和內圓切割方式，其原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼線上的切割刃料，對硅棒進行摩擦，從而達到切割效果。在整個過程中，數十根位于導線輪線槽內的鋼線通過導線輪的引導，在導線輪的輥上形成一張線網，而待加工硅棒通過工作臺的下降實現工件的進給，線網進而將硅棒一次同時切割為數百片薄片。硅片多線切割技術與其他技術相比具有效率高，產能高，精度高等優點。

目前采用的硅棒多線切割裝置無法對切割線進行導向定位。在將硅棒粘接好后直接裝入多線切割裝置切割，由于硅棒表面和鋼線表面都很光滑，所以當鋼線剛切割到硅棒時很容易打滑，鋼線的切割位置和線槽的位置產生相對滑移，造成切割不均、廢片等工程內不良，且對導線輪產生一定的傷害，縮短其使用壽命。

實用新型的內容

針對現有硅棒多線切割裝置無法對切割線進行導向定位，易造成切割不均、廢片和對導線輪造成損傷的缺點，申請人進行了改進研究，提供一種硅棒的多線切割裝置，能夠對切割線精確定位，從而有效減少切割不均、廢片等工程內不良，同時減小導線輪的磨損度，延長其使壽命。

本實用新型的技術方案如下：

硅棒的多線切割裝置，包括導線輪以及位于導線輪上的切割線，其特征在于，還包括給切割線定位的導向條，所述導向條上開有導向槽，切割線進刀切割硅棒時位于所述導向槽內。

所述導向條至少為兩條。

本實用新型的有益技術效果是：

采用本實用新型進行多線切割前，在硅棒表面用膠水粘附導向條，待膠水完全固化后，再進行裝機切割。在切割時，切割線組成的線網先切到導向條，由于導向條硬脆且易于切割，所以當線網切割到導向條時，更易進刀，在導向條上首先切割出導向槽，然后再切割到硅棒。切割線能夠按切割出的導向槽位置定位，來切割硅棒5，減小由于對硅棒5直接進切割時產生的相對滑移，減少切割不均以及廢片的出現。從而提高良品率，同時由于減小了進刀位置與線槽之間的相對位移，減小了對導線輪的損傷，延長了其使用壽命。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖2是導向條的示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式做進一步說明。

圖1為本實用新型的結構示意圖。如圖1所示，本實用新型包括導線輪1以及位于導線輪1上的切割線2，還包括給切割線2定位的導向條3，導向條3上開有導向槽4(見圖2)，切割線2進刀切割硅棒5時位于所述導向槽4內。

本實施例中導向條有2條，其為長400mm、寬10mm、高2.9mm的白色條狀物，是由Al(OH)₃、石粉和樹脂調合成漿料，然后在模具中經過燒結形成的硬脆且易于切割的材料。

采用本實用新型進行多線切割過程如圖1所示：切割前在硅棒5表面用膠水粘附兩條導向條3，導向條3的安裝方向與切割線2垂直，所述導向條至少為兩條，最佳實施例為兩條，兩條導向條平行布置，且兩條導向條之間的距離與兩條導向條分別到硅棒5直徑端點的距離相等，即兩導向條在與之垂直的硅棒5的直徑上均距離布置。待膠水完全固化后，再進行裝機切割。切割時硅棒5通過工作臺6下降，切割線2組成的線網先切割到導向條3，在切割過程中在導向條3上切割出導向槽4(如圖2所示)，然后再切割到硅棒5。由于導向條3硬脆且易于切割，所以當線網切割到導向條3時，更易進刀，切割線2能夠按在導向條3上切割出的導向槽4定位的位置切割硅棒5，減小由于對硅棒5直接進切割時產生的相對滑移，減少切割不均、廢片的出現。

以上所述的僅是本實用新型的優選實施方式，本實用新型不限于以上實施例。可以理解，本領域技術人員在不脫離本實用新型的精神和構思的前提下，可以做出其他改進和變化。