[實用新型]薄膜及光學元件激光損傷閾值組合測試裝置

無效

• 申請號: 200920245571.6
• 申請日: 2009-12-02
• 公開（公告）號: CN201622245U
• 公開（公告）日: 2010-11-03
• 發明（設計）人: 蘇俊宏;徐均琪;梁海鋒;楊利紅;惠迎雪;杭凌俠;朱昌
• 申請（專利權）人: 西安工業大學
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01M11/02
• 代理公司: 西安新思維專利商標事務所有限公司 61114
• 代理人: 黃秦芳

1.一種薄膜及光學元件激光損傷閾值組合測試裝置，包括測試組件和處理組件，其中測試組件包括設置于一條主光軸上的Nd:YAG激光器(1)、開關擋板(2)，衰減器(3)，第一分束器(4)、聚焦透鏡(5)、第二分束器(6)和樣片臺(9)，還包括光束分析儀(13)和能量計(14)，其特征在于：測試組件中還包括輔助激光器(7)、光電二極管陣列(8)、會聚透鏡(10)、光電探測器件(11)和CCD照相機(12)，其中輔助激光器(7)偏離主光軸設置，其發射光束朝向樣片臺(9)，所述CCD照相機(12)設置于輔助激光器(7)反射光束與主光軸之間的區域，所述光電二極管陣列(8)位于樣片表面法線30～60度的錐角內，所述會聚透鏡(10)和光電探測器件(11)依次位于輔助激光器(7)的鏡像反射光束上，會聚透鏡(10)的中部區域鍍制吸光膜，吸光膜覆蓋區域應大于輔助激光器輸出光斑直徑的2倍～5倍，處理組件包括計算機(15)。

2.根據權利要求1所述的薄膜及光學元件激光損傷閾值組合測試裝置，其特征在于：所述光電探測器件(11)的空間位置在輔助光束與法線的平面內，且與輔助光線以法線為對稱。

3.根據權利要求1所述的薄膜及光學元件激光損傷閾值組合測試裝置，其特征在于：所述輔助激光器(7)偏離主光軸45度設置；所述光電二極管陣列(8)位于樣片表面法線60度位置。

4.根據權利要求1所述的薄膜及光學元件激光損傷閾值組合測試裝置，其特征在于：所述會聚透鏡(10)上吸光膜覆蓋區域應為輔助激光器輸出光斑直徑的2倍。