[實(shí)用新型]主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920244984.2
• 申請(qǐng)日: 2009-10-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201606497U
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-10-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王朝偉;徐震
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 西北機(jī)器有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F16J15/40
• 分類(lèi)號(hào): F16J15/40;G03F7/00
• 代理公司: 西安創(chuàng)知專(zhuān)利事務(wù)所 61213
• 代理人: 李子安

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于旋轉(zhuǎn)涂膠、顯影定影過(guò)程中真空吸附高速旋轉(zhuǎn)片料的系統(tǒng)，具體涉及一種主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)。

背景技術(shù)

涂膠顯影類(lèi)設(shè)備是IC生產(chǎn)線(xiàn)上的關(guān)鍵設(shè)備之一，主要用于半導(dǎo)體集成電路、晶體管、LED、MEMS等生產(chǎn)中基片的涂膠、顯影工藝。光刻的基本工藝是由光刻膠涂敷、曝光及顯影等三大步驟構(gòu)成的，由于光刻膠內(nèi)含有溶劑，使得光刻膠本身能以液態(tài)的形式存在，因此在光刻膠涂敷工序中大多利用高速旋轉(zhuǎn)的方式，借助離心力將光刻膠均勻的涂敷在片料襯底上，襯底表面形成一層厚度均勻、附著性強(qiáng)，且無(wú)任何缺陷的光刻膠層。目前，對(duì)高速旋轉(zhuǎn)片料的裝夾、固定設(shè)備普遍存在裝夾不牢固，在裝夾過(guò)程中很容易對(duì)片料造成污染等問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)合理、生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單、裝夾牢固、不對(duì)片料造成任何污染、自動(dòng)化程度高、生產(chǎn)成本低，便于推廣使用。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)，包括真空氣源，以及控制整個(gè)系統(tǒng)中真空啟閉及大小的精密真空度檢測(cè)開(kāi)關(guān)，其特征在于：所述真空氣源出口通過(guò)真空管道與真空電磁閥入口相連接，所述真空電磁閥出口通過(guò)真空管道與真空陷阱相連接，所述真空陷阱通過(guò)真空管道與主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊入口相連接，所述真空陷阱與主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊之間的管道上設(shè)置有精密真空度檢測(cè)開(kāi)關(guān)。

所述主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊包括內(nèi)部設(shè)置有豎向貫通軸孔、上階梯槽及下階梯槽的密封塊，所述密封塊內(nèi)部垂直于軸孔方向設(shè)置有真空通道，所述軸孔內(nèi)部安裝有空心軸，空心軸的側(cè)壁上對(duì)應(yīng)真空通道的位置開(kāi)有小孔，所述上階梯槽內(nèi)依次安裝有壓板一、底圈一和密封圈一，所述底圈一與空心軸之間設(shè)置有密封套一，所述密封套一內(nèi)部安裝有密封圈二，所述下階梯槽內(nèi)依次安裝有壓板二、底圈二和密封圈三，所述底圈二與空心軸之間設(shè)置有密封套二，所述密封套二內(nèi)部安裝有密封圈四。

所述真空電磁閥為兩位兩通真空電磁閥。

所述壓板一和壓板二均通過(guò)螺紋與密封塊相連接。

所述密封圈一、密封圈二、密封圈三和密封圈四均為O型密封圈。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：

(1)結(jié)構(gòu)合理、生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單。該主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)結(jié)構(gòu)合理，生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單；

(2)裝夾牢固、不對(duì)片料造成任何污染。該主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)采用真空吸附高速旋轉(zhuǎn)片料，因此裝夾牢固、不對(duì)片料造成任何污染；

(3)自動(dòng)化程度高。通過(guò)控制兩位兩通真空電磁閥的開(kāi)閉，控制整個(gè)進(jìn)入系統(tǒng)中的真空啟閉及大小；通過(guò)設(shè)置精密真空度檢測(cè)開(kāi)關(guān)數(shù)據(jù)大小，判斷真空度是否滿(mǎn)足當(dāng)前要求；

(3)制作簡(jiǎn)單、生產(chǎn)成本低、便于推廣使用。該主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)很多部件都非常便于生產(chǎn)、購(gòu)買(mǎi)，因而其生產(chǎn)成本很低，便于推廣使用。

下面通過(guò)附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的真空管路控制系統(tǒng)原理圖。

圖2為本實(shí)用新型密封塊的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：

1-真空氣源；?????????2-真空電磁閥；??3-真空陷阱；

4-主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊；?5-精密真空度檢測(cè)開(kāi)關(guān)；

4-1-密封塊；?????????4-2-軸孔；??????4-3-上階梯槽；

4-4-下階梯槽；???????4-5-真空通道；??4-6-空心軸；

4-7-壓板一；?????????4-8-底圈一；????4-9-密封圈一；

4-10-密封套一；??????4-11-密封圈二；?4-12-壓板二；

4-13-底圈二；????????4-14-密封圈三；?4-15-密封套二；

4-16-密封圈四。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，本實(shí)用新型一種主軸真空動(dòng)密封系統(tǒng)，包括真空氣源1，以及控制整個(gè)系統(tǒng)中真空啟閉及大小的精密真空度檢測(cè)開(kāi)關(guān)5，所述真空氣源1出口通過(guò)真空管道與真空電磁閥2入口相連接，所述真空電磁閥2出口通過(guò)真空管道與真空陷阱3相連接，所述真空陷阱3通過(guò)真空管道與主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊4入口相連接，所述真空陷阱3與主軸旋轉(zhuǎn)密封模塊4之間的管道上設(shè)置有精密真空度檢測(cè)開(kāi)關(guān)5。