[實用新型]五位射頻微機電式移相器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920242644.6
• 申請日: 2009-10-21
• 公開（公告）號: CN201540938U
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發(fā)明（設計）人: 鮑景富;張曉升;杜亦佳
• 申請（專利權(quán)）人: 電子科技大學
• 主分類號: H01P1/18
• 分類號: H01P1/18;B81B7/02
• 代理公司: 電子科技大學專利中心 51203
• 代理人: 詹福五

1.一種五位射頻微機電式移相器，包括含CPW信號線、地線及設于信號線上表面的絕緣層，MEMS金屬梁及設于兩端的支撐，比例電容上極板、下極板在內(nèi)的元器件組成的MEMS開關(guān)組，直流加載電極的正、負極及其連接導線，上表面設有絕緣層的基片，其特征在于該移相器為包含31個MEMS開關(guān)、5個直流加載電極組合而成的五位移相器，在CPW信號線兩側(cè)正對各MEMS金屬梁的下方還增設有一對長度與對應的金屬梁寬度相等的直流偏置電極、該直流偏置電極直接與直流加載電極的正極連接、且在其上表面設置絕緣層，而MEMS金屬梁則經(jīng)比例電容下極板及MEMS彈性懸臂梁與直流加載電極的負極連接；各開關(guān)中的MEMS金屬梁均為孔板式金屬梁、其支撐為MEMS彈性懸臂梁，各比例電容的上極板與金屬梁設于同一水平位置上；基片上的絕緣層牢固地覆蓋于基片上表面，直流偏置電極之間的偏置導線及直流偏置電極與直流加載電極正極之間的連接導線均設于該絕緣層與基片之間、比例電容下極板與直流加載電極負極之間的連接導線則設于該絕緣層內(nèi)，CPW信號線及CPW地線、各比例電容下極板均通過設于其底部的連接導線緊固于基片的絕緣層上，各比例電容上極板的兩端則分別通過支撐板固定于對應的CPW地線上，而各直流偏置電極均通過設于其底部的偏置導線緊固于基片上表面，各MEMS彈性懸臂梁的外端通過支撐桿固定于對應的比例電容下極板上、其內(nèi)端則分別與對應金屬梁的四角固定成一體。

2.按權(quán)利要求1所述五位射頻微機電式移相器，其特征在于所述五位移相器，其移相結(jié)構(gòu)為90°、45°、22.5°、11.25°和180°，共有32種移相狀態(tài)。

3.按權(quán)利要求1所述五位射頻微機電式移相器，其特征在于所述孔板式金屬梁長250-400μm、寬80-110μm、厚0.5-3μm，其上各孔的孔徑為Φ3-8μm、相鄰兩孔的中心距為6-12μm且相鄰兩孔間的間距不小于2μm，最外側(cè)孔與金屬梁側(cè)邊的距離不小于2.5μm。

4.按權(quán)利要求1所述五位射頻微機電式移相器，其特征在于所述MEMS彈性懸臂梁為波紋式懸臂梁或鶴腿式懸臂梁、曲臂式懸臂梁。

5.按權(quán)利要求1所述五位射頻微機電式移相器，其特征在于所述比例電容為金屬-空氣或絕緣層-金屬結(jié)構(gòu)的比例電容。