[實用新型]一種測量激光等離子體的離子平動能儀

無效

• 申請號: 200920237476.1
• 申請日: 2009-10-20
• 公開（公告）號: CN201689179U
• 公開（公告）日: 2010-12-29
• 發明（設計）人: 黃慶舉;張鋒
• 申請（專利權）人: 茂名學院
• 主分類號: G01T1/29
• 分類號: G01T1/29
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種測量激光等離子體的離子平動能儀，其測量儀器主要用于對激光與材料作用產生的等離子體的離子平動能進行檢測、分析處理。?

背景技術

用激光輻照固體材料引起燒蝕濺射是一個激光與物質相互作用的基礎性問題，也是一種高新技術，在材料加工，特別是在微電子材料加工以及產生高質量的光電材料薄膜方面有廣泛應用前景。為了給實際應用提供可靠的依據，需要深入研究激光燒蝕濺射的過程。最近十多年來，大量的實驗研究工作已經出現。強脈沖激光輻照固體材料將引起材料燒蝕，誘導產生等離子體，從靶面濺射出大量電子、原子、分子、原子分子簇以及它們的正負離子。從動力學來分析等離子體的形成、傳播到消失，經歷了一個電子、原子、離子、分子和粒團之間相互劇烈碰撞作用的過程。激光等離子體的原子輻射來自激光燒蝕濺射出的物質團簇或顆粒在等離子體中被電子汽化并激發。原子和離子輻射強度隨時間和空間的變化反映了激光燒蝕誘導等離子體的形成、增強以及隨激光脈沖終止以后的膨脹、減弱到消失的過程。但沒有一種能測量離子平動能分布儀，通過設計一種測量離子平動能儀，測定濺射出離子平動能及其分布。?

實用新型內容

本實用新型發明目的是設計一種測量激光等離子體的離子平動能儀，填補國內外空白。?

一種測量激光等離子體的離子平動能儀，其特征是儀器包括真空室(1)、?靶(2)、質譜室(3)、激光器(4)、光觸發器(5)、質譜儀(6)、示波器(7)、信號平均器(8)、瞬態記錄儀(9)、計算機(10)、繪圖儀(11)。激光器發出的光，聚焦到真空室中的靶，從靶面發射的離子進入質譜室，光觸發器用于光信號與電信號同步，在質譜儀的終端，離子強度信號在示波器上顯示，也可通過信號平均器，然后輸入到示波器，或由瞬態記錄儀存儲和處理，所得的結果經過計算機存儲，最后通過繪圖儀畫出。本實用新型測量精度高，簡單易行，具有良好的經濟效益。?

附圖說明

圖1是實現發明的激光等離子體的離子平動能儀的裝置示意圖。?

上述圖中，1是真空室，2是靶，3是質譜室，4是激光器，5是光觸發器，6是質譜儀，7是示波器，8是信號平均器，9是瞬態記錄儀，10是計算機，11是繪圖儀。?

具體實施方式

激光器(4)發出的光，聚焦到真空室(1)中的靶(2)，從靶(2)面發射的離子進入質譜室(3)，光觸發器(5)用于光信號與電信號同步。在質譜儀(6)的終端，離子強度信號在示波器(7)上顯示，也可通過信號平均器(8)，然后輸入到示波器(7)，或由瞬態記錄儀(9)存儲和處理，所得的結果經過計算機(10)存儲，最后通過繪圖儀(11)畫出，得出離子平動能的分布情況。本實用新型用于測量激光與材料作用時產生的激光等離子體內的離子平動能，具有廣闊地應用前景。?