[實用新型]一種具有高質量提純多晶硅的多晶爐

無效

• 申請號: 200920234660.0
• 申請日: 2009-08-12
• 公開（公告）號: CN201495107U
• 公開（公告）日: 2010-06-02
• 發明（設計）人: 管宇骎;管悅;王波;管文禮
• 申請（專利權）人: 管悅
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037;C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 王彥明

1.一種具有高質量提純多晶硅的多晶爐，設有爐體，爐體的上部設有爐門，爐體內設有保溫籠，裝料坩堝放置在保溫籠底部的承接臺上，保溫籠設有隔熱底板、側隔熱板、隔熱上蓋，其特征在于：在保溫籠內設有四周加熱器和下加熱器，下加熱器設置在承接臺與保溫籠的隔熱底板之間，在保溫籠隔熱底板的中部設有熱門，在熱門的下面設有冷卻板，保溫籠的隔熱上蓋與爐體的爐門固定，在爐門的中部設有觀察窗，在觀察窗的側部設有惰性氣體吹氣管，在保溫籠的隔熱上蓋上設有與觀察窗相通的觀察孔、與惰性氣體吹管相通的吹氣孔。

2.根據權利要求1所述的具有高質量提純多晶硅的多晶爐，其特征在于：四周加熱器、下加熱器都與保溫籠的側隔熱板固定。