[實用新型]一種新型LED晶圓三光束激光劃片設備

有效

• 申請號: 200920232540.7
• 申請日: 2009-09-16
• 公開（公告）號: CN201516540U
• 公開（公告）日: 2010-06-30
• 發明（設計）人: 趙裕興;徐海賓
• 申請（專利權）人: 蘇州德龍激光有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陳忠輝

1.一種新型LED晶圓三光束激光劃片設備，包括激光器(1)、加工平臺(3)和控制系統(4)，其特征在于：所述激光器(1)的輸出端設置有用于控制激光通斷的光閘(5)，所述光閘(5)的輸出端連接有用于激光光斑擴束倍率調節的擴束鏡(6)，所述擴束鏡(6)的輸出端布置有第一全反鏡(7)，第一全反鏡(7)輸出端銜接有用于將單束激光源分成三束激光的激光分光系統(2)，所述激光分光系統(2)的輸出端設置有第二全反鏡(8)，所述第二全反鏡(8)銜接聚焦鏡(9)，所述聚焦鏡(9)正對于加工平臺(3)；所述激光器(1)出射的激光經過光閘(5)垂直入射到擴束鏡(6)，經擴束鏡(6)后的激光入射到第一全反鏡(7)，經第一全反鏡(7)后的激光入射到激光分光系統(2)，激光分光系統(2)輸出三束等尺寸均能量的激光，等尺寸均能量的三束激光入射到第二全反鏡(8)，第二全反鏡(8)轉角后的三束并行激光入射到聚焦鏡(9)，透過聚焦鏡(9)的三束激光并行聚焦于加工平臺(3)上，在加工平臺表面的三束光位于同一直線上，并且中間一束激光與兩側激光的中心間距相等。

2.根據權利要求1所述的一種新型LED晶圓三光束激光劃片設備，其特征在于：所述聚焦鏡(9)安裝于可垂直上下移動的一維直線運動機構上，所述一維直線運動機構與一電機驅動連接。

3.根據權利要求1所述的一種新型LED晶圓三光束激光劃片設備，其特征在于：所述擴束鏡(6)的倍率調節范圍為8～15倍。

4.根據權利要求1所述的一種新型LED晶圓三光束激光劃片設備，其特征在于：所述激光器(1)為半導體泵浦激光器，輸出的激光波長為355nm。