[實用新型]一種隧道多位式近空間升華裝置

無效

• 申請號: 200920230422.2
• 申請日: 2009-08-20
• 公開（公告）號: CN201506833U
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 薛自勇;韋玉平;董濤;管悅;管宇骎
• 申請（專利權）人: 管文禮
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448;H01L31/18
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 王彥明

1.一種隧道多位式近空間升華裝置，其特征在于：設有升華爐體，在升華爐體內設有水平向的基片工裝總成通道，在基片工裝總成通道的兩端都設有閘閥和冷卻板，在通道內設有至少兩個升華工位，在相鄰升華工位之間設有過渡腔室，與過渡腔室對應的爐壁上設有抽真空管、氫氣注入管、氬氧混合氣注入管，在升華工位的上壁設有上加熱器和上石墨保溫板，在升華工位的下壁設有下加熱器和下石墨保溫板，所述的基片工裝總成包括上、下導熱板，上導熱板的下表面設有玻璃基片，下導熱板的上表面設置有碲化鎘源，在上、下導熱板的前后兩端設有工裝定位塊。

2.根據權利要求1所述的隧道多位式近空間升華裝置，其特征在于：在升華爐體的前后設有基片工裝總成的輸送裝置。

3.根據權利要求1所述的隧道多位式近空間升華裝置，其特征在于：在冷卻板內設有冷卻水循環通道。