[實用新型]大功率腔內三倍頻紫外激光器

無效

• 申請號: 200920226498.8
• 申請日: 2009-09-17
• 公開（公告）號: CN201523153U
• 公開（公告）日: 2010-07-07
• 發明（設計）人: 何京良;張百濤;黃海濤;楊見飛;徐金龍;王海霞;劉善德
• 申請（專利權）人: 山東大學
• 主分類號: H01S3/16
• 分類號: H01S3/16;H01S3/11;H01S3/109;H01S3/082;H01S3/02;H01S3/042
• 代理公司: 濟南金迪知識產權代理有限公司 37219
• 代理人: 許德山

1.一種大功率腔內三倍頻紫外激光器，包括基頻波腔鏡、Q開關、基頻激光輸出模塊、二向色鏡、二倍頻非線性光學晶體、三向色鏡、三倍頻非線性光學晶體和三次諧波輸出鏡；上述各部件分別固定在各自的基座上，其特征在于在基板上依次放置基頻波腔鏡、Q開關、基頻激光輸出模塊、二向色鏡、二倍頻非線性光學晶體、三向色鏡、三倍頻非線性光學晶體和三次諧波輸出鏡；由基頻波腔鏡、Q開關、基頻激光輸出模塊和三次諧波輸出鏡構成基頻光諧振腔；由二向色鏡、二倍非線性光學晶體和三次諧波輸出鏡構成二倍頻光諧振腔；由三向色鏡、三倍頻非線性光學晶體和三次諧波輸出鏡構成三倍頻光諧振腔；基頻光諧振腔、二倍頻光諧振腔和三倍頻光諧振腔共軸，用外殼將整個裝置罩在基板上。

2.如權利要求1所述的一種大功率腔內三倍頻紫外激光器，其特征在于所述的各部件的基座是由鋁制成的，帶有冷水管道，通過對相應的基座通水可對鏡片進行冷卻。

3.如權利要求1所述的一種大功率腔內三倍頻紫外激光器，其特征在于所述的的二倍頻非線性光學晶體是I或者II類相位匹配的GTP-KTP、KTP、LBO、KTA或BBO晶體中的一種。

4.如權利要求1所述的一種大功率腔內三倍頻紫外激光器，其特征在于所述的三倍頻非線性光學晶體是I或者II類相位匹配的LBO、CBO、BIBO或BBO晶體中的一種。

5.如權利要求1所述的一種大功率腔內三倍頻紫外激光器，其特征在于所述的基頻激光輸出模塊是Nd:YAG、Nd:YLF、Nd:YAP、Nd:LuVO₄、Nd:YVO₄或Nd:GdVO₄晶體中的一種。

6.如權利要求1所述的一種大功率腔內三倍頻紫外激光器，其特征在于所述的基頻波腔鏡內側鍍有有1064nm基頻波長高反膜；Q開關兩端鍍有有1064nm基頻波長增透膜。

7.如權利要求1所述的一種大功率腔內三倍頻紫外激光器，其特征在于所述的二倍頻光諧振腔中的二向色鏡的外側一面鍍有有1064nm的增透膜，內側面鍍有有1064nm增透膜和532nm高反膜；二倍頻非線性光學晶體兩端面均鍍有有1064nm和532nm的增透膜。

8.如權利要求1所述的一種大功率腔內三倍頻紫外激光器，其特征在于所述的三倍頻光諧振腔中的三向色鏡的外側一面鍍有有1064nm和532nm的增透膜，內側面鍍有有1064nm和532nm的增透膜及355nm的高反膜；三倍頻非線性光學晶體兩端面均鍍有1064nm、532nm和355nm的增透膜；三次諧波輸出鏡內側鍍有1064nm和532nm的高反膜和355nm的增透膜；另一面鍍有355nm的增透膜。