[實(shí)用新型]一種用于控制真空生長(zhǎng)室內(nèi)氣體壓力的壓力自動(dòng)控制裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200920222341.8 | 申請(qǐng)日： | 2009-09-02 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN201545935U | 公開(kāi)（公告）日： | 2010-08-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 吳晟 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 吳晟 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C30B23/00 | 分類(lèi)號(hào)： | C30B23/00;F16K31/02;F16K51/02;G05D16/00 |
| 代理公司： | 北京中創(chuàng)陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11003 | 代理人： | 尹振啟 |
| 地址： | 100080 北京市*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 控制 真空 生長(zhǎng) 室內(nèi) 氣體 壓力 自動(dòng)控制 裝置 | ||
1.一種用于控制單晶生長(zhǎng)設(shè)備中真空生長(zhǎng)室內(nèi)壓力的壓力自動(dòng)控制裝置，包括與真空生長(zhǎng)室連通的抽氣泵、氣閥流量計(jì)、以及與氣閥流量計(jì)相連的氣源，其特征為：在真空生長(zhǎng)室與抽氣泵之間，或真空生長(zhǎng)室與氣體流量計(jì)之間設(shè)置有電磁閥，該電磁閥由預(yù)定的程序控制其開(kāi)啟和關(guān)閉，使真空生長(zhǎng)室的壓力保持在工藝要求的穩(wěn)定的壓力狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力自動(dòng)控制裝置，其特征為：進(jìn)一步包括壓力傳感器、程序給定器、PID調(diào)節(jié)器和壓控多諧振蕩器，壓力傳感器一端與所述真空生長(zhǎng)室相連、另一端與程序給定器和PID調(diào)節(jié)器相連，壓控多諧振蕩器一端與PID調(diào)節(jié)器相連、另一端與電磁閥相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力自動(dòng)控制裝置，其特征為：所述氣源是提供高純氬氣的壓力瓶。
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