[實用新型]用于裝運硅片的夾具

無效

• 申請號: 200920213811.4
• 申請日: 2009-11-18
• 公開（公告）號: CN201540900U
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發明（設計）人: 許卓;鄧超;顧涵奧;許瑞峰
• 申請（專利權）人: 上海太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司 31225
• 代理人: 楊元焱

技術領域

本實用新型涉及太陽電池的制作工具，尤其涉及一種用于裝運硅片的夾具。

背景技術

太陽電池作為新興的清潔可再生能源，因具能直接將太陽能轉換為電能，且具有壽命長、維護簡單、可實現無人值守等優點而備受矚目。太陽能電源系統取得了越來越廣泛的應用。

擴散工藝是晶體硅太陽能電池生產過程中的關鍵工序，需要使用一種夾具用于裝運硅片，避免人手直接接觸硅片，從而保證工藝的潔凈度。

現晶體硅太陽電池領域所使用的擴散爐多為水平式擴散爐，使用水平式石英舟裝載硅片。工藝時一個石英舟槽內插入兩片硅片，以便在硅片的一面形成PN結。因此，夾具的設計要滿足便于并片操作及保證工藝潔凈度的雙重要求。

實用新型內容

本實用新型的目的，就是為了解決上述問題，提供一種用于裝運硅片的夾具。

為了達到上述目的，本實用新型采用了以下技術方案：一種用于裝運硅片的夾具，其特征在于包括：

波紋管，其上設有抽真空接管；

兩中空石英吸筆，其一端分別與波紋管連接連通；

兩石英吸盤，分別連接在兩中空石英吸筆的另一端。

所述的石英吸盤為圓盤。

所述的石英吸筆為便于用手握持的扁平結構。

本實用新型的用于裝運硅片的夾具滿足便于并片操作及保證工藝潔凈度的雙重要求。

附圖說明

圖1是本實用新型用于裝運硅片的夾具的結構示意圖。

具體實施方式

參見圖1，本實用新型用于裝運硅片的夾具，包括波紋管1、兩中空石英吸筆2和兩石英吸盤3。在波紋管1上設有抽真空接管4。兩中空石英吸筆2為便于用手握持的扁平結構，其一端分別與波紋管1連接連通。兩石英吸盤3為圓盤形結構，其分別連接在兩中空石英吸筆2的另一端。

本實用新型用于裝運硅片的夾具的使用方法是，將抽真空接管4與抽真空機構連接，啟動抽真空。首先用夾具中的一個吸盤吸住一片硅片，將之與另一片硅片并入同一槽內，然后用另一個吸盤吸住另一片硅片，同時用手握緊石英吸筆以夾緊兩片硅片，將之提起，放入石英舟的槽內。再斷開氣路，兩片硅片即落入石英舟的槽內，然后將夾具移出，完成一次硅片的裝運。