[實(shí)用新型]一種具有氣體檢測(cè)裝置的加熱爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920211547.0
• 申請(qǐng)日: 2009-10-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201689872U
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董彬;宋大偉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/00
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/00;H01L21/66
• 代理公司: 北京市磐華律師事務(wù)所 11336
• 代理人: 董巍;顧珊

1.一種具有氣體檢測(cè)裝置的加熱爐，所述加熱爐包括外爐管、內(nèi)爐管、氣體反應(yīng)腔以及氣體注入室，所述氣體反應(yīng)腔設(shè)置在所述內(nèi)爐管的內(nèi)側(cè)，用于容納承載待處理晶片的晶舟，所述氣體注入室設(shè)置在所述外爐管的下方，用來(lái)通過(guò)氣體通入/排出管將反應(yīng)氣體輸送至所述氣體反應(yīng)腔，與爐體內(nèi)部連通的主管道上設(shè)置有主閥門(mén)，用于控制氣體進(jìn)入/排出爐體內(nèi)部，其特征在于，

所述加熱爐還包括一氣體檢測(cè)裝置，所述氣體檢測(cè)裝置包括依次連通的一單向氣閥、第一氣閥、氣體檢測(cè)器以及第二氣閥，由所述單向氣閥、所述第一氣閥、所述氣體檢測(cè)器以及所述第二氣閥構(gòu)成的氣體通路連接于所述主閥門(mén)的兩端。

2.如權(quán)利要求1所述的加熱爐，其特征在于，所述單向氣閥只允許主管道中的氣體流入到所述氣體檢測(cè)裝置中，而不允許氣體反向流出所述氣體檢測(cè)裝置。

3.如權(quán)利要求1所述的加熱爐，其特征在于，所述氣體檢測(cè)器是檢測(cè)ppm量級(jí)的氣體濃度含量的檢測(cè)器。

4.如權(quán)利要求3所述的加熱爐，其特征在于，所述氣體檢測(cè)器是檢測(cè)氣體中氧氣的含量的檢測(cè)器。

5.如權(quán)利要求1所述的加熱爐，其特征在于，所述加熱爐是垂直式加熱爐。

6.如權(quán)利要求1所述的加熱爐，其特征在于，所述加熱爐還設(shè)置有溫度傳感器，用于感測(cè)爐體內(nèi)的溫度。

7.如權(quán)利要求1所述的加熱爐，其特征在于，所述加熱爐還設(shè)置有密封罩，在將所述晶舟載入到爐管內(nèi)后，所述密封罩用于密封所述外爐管。?