[實用新型]適用于清洗上電極的工具無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200920210631.0 | 申請日： | 2009-10-13 |
| 公開（公告）號： | CN201728588U | 公開（公告）日： | 2011-02-02 |
| 發(fā)明（設計）人： | 陳寧;劉賢 | 申請（專利權）人： | 上海宏科半導體技術有限公司 |
| 主分類號： | B24B41/06 | 分類號： | B24B41/06;B24B55/00;H01L21/70 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 31002 | 代理人： | 胡美強 |
| 地址： | 201712 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 適用于 清洗 電極 工具 | ||
【權利要求書】：
1.一種適用于清洗上電極的工具，其特征在于，其包括一個陽極化鋁密封面拋光夾具、一個鋁密封面拋光夾具、一個支撐上電極用的支撐架子和一個孔洞沖壓裝置，陽極化鋁密封面拋光夾具、鋁密封面拋光夾具、支撐上電極用的支撐架子和孔洞沖壓裝置配套使用。
2.如權利要求1所述的適用于清洗上電極的工具，其特征在于，所述陽極化鋁密封面拋光夾具是由兩片“口字右邊少一豎”型聚丙烯板材以十字型形式焊接而成，采用四片三角形板材固定。
3.如權利要求1所述的適用于清洗上電極的工具，其特征在于，所述鋁密封面拋光夾具分為上下兩部分，上部分是由兩片長方形聚丙烯板材以十字型形式焊接而成，下部分是一塊圓形聚丙烯板材。
4.如權利要求1所述的適用于清洗上電極的工具，其特征在于，所述支撐上電極用的支撐架子是由兩片“口字右邊少一豎”型聚丙烯板材以十字型形式焊接而成。
5.如權利要求1所述的適用于清洗上電極的工具，其特征在于，所述孔洞沖壓裝置分為上下兩部分，上部分是一個圓盤，在圓盤圓心處焊接一個進水管，在進水管下方焊接一個圓環(huán)，下部分是一個分淋盤。?
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