[實用新型]一種新型晶體爐提拉結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920210234.3
• 申請日: 2009-09-27
• 公開（公告）號: CN201538828U
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發(fā)明（設計）人: 黃小衛(wèi)
• 申請（專利權）人: 上海元亮光電科技有限公司
• 主分類號: C30B15/30
• 分類號: C30B15/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及晶體生長技術領域，具體是一種新型晶體爐提拉結構。

背景技術

隨著科學技術的發(fā)展，對晶體材料的要求越來越高，這也意味著對晶體材料的生長工藝和生長設備的要求越來越高。晶體生長設備和生長工藝關鍵技術之一就是提拉機構的穩(wěn)定性和稱重的精度和可靠性。傳統(tǒng)的晶體生長爐提拉機構主要存在穩(wěn)定性差、易產生傳導振動；稱重可靠性差、易受干擾；維系不便，結構太脆弱等缺點。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題在于提供一種結構簡單、可靠性和抗干擾能力強、技術先進的新型晶體爐提拉結構。

本實用新型所要解決的技術問題采用以下技術方案來實現(xiàn)，

一種新型晶體爐提拉結構，包括晶桿機構、提拉機構、籽晶中心和新型稱重機構，其特征在于；在所述晶桿機構的右側設有懸臂稱重桿，直線滑板軌道設在所述提拉機構的左側，與懸臂稱重桿相連，所述籽晶中心設在提拉機構的下方，在所述籽晶中心的下方設置新型稱重機構。

在所述懸臂稱重桿上方的晶桿機構上設有同步傳輸機構，旋轉水接頭設置在所述同步傳輸機構上方的晶桿機構上。

在所述懸臂稱重桿下方的晶桿機構上設有磁流體，波紋管被設置在所述磁流體下方，在所述的波紋管內設有水冷晶桿。

在所述直線滑板軌道的右邊設有滾珠絲桿，便于上下滑動，在所述滾珠絲桿的下端設置傘狀齒輪結構，所述傘狀齒輪結構為手搖系統(tǒng)，電磁離合器設置于所述傘狀齒輪結構的下方，所述電磁離合器為手動和電動的切換系統(tǒng)。

在所述電磁離合器的下方設有譜波減速器，用于控制直線滑板軌道的下滑速度，渦輪蝸桿設在所述譜波減速器的下方，所述渦輪蝸桿為轉動傳遞系統(tǒng)。

所述籽晶中心由旋轉連接軸和一維機械滑塊所構成，其中，旋轉連接軸設在一維機械滑塊上方，所述一維機械滑塊的下端與新型稱重機構相接。

本實用新型的有益效果是利用籽晶中心可調技術和新型稱重機構，利用全新的機構設計，客服傳統(tǒng)設計的缺點，從而提高了晶體生長設備可靠性和穩(wěn)定性，在生產中提高了晶體材料的質量。

附圖說明

圖1是本實用新型結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型實現(xiàn)的技術手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。

如圖1所示，一種新型晶體爐提拉結構，包括晶桿機構1、提拉機構2、籽晶中心3和新型稱重機構4，在晶桿機構1的右側設有懸臂稱重桿5，直線滑板軌道6設在提拉機構2的左側，與懸臂稱重桿5相連，籽晶中心3設在提拉機構2的下方，在籽晶中心3的下方設置新型稱重機構4。在懸臂稱重桿5上方的晶桿機構1上設有同步傳輸機構7，旋轉水接頭8設置在同步傳輸機構7上方的晶桿機構1上。在懸臂稱重桿5下方的晶桿機構1上設有磁流體9，波紋管10被設置在磁流體9的下方，在波紋管10內設有水冷晶桿11。在直線滑板軌道6的右邊設有滾珠絲桿12，便于上下滑動，在滾珠絲桿12的下端設置傘狀齒輪結構13，所述傘狀齒輪結構13為手搖系統(tǒng)，電磁離合器14設置于傘狀齒輪結構13的下方，所述電磁離合器14為手動和電動的切換系統(tǒng)。在電磁離合器14的下方設有譜波減速器15，用于控制直線滑板軌道的下滑速度，渦輪蝸桿16設在譜波減速器15的下方，所述渦輪蝸桿16為轉動傳遞系統(tǒng)。籽晶中心3由旋轉連接軸17和一維機械滑塊所18構成，其中，旋轉連接軸17設在一維機械滑塊18上方，與渦輪蝸桿16相接，一維機械滑塊18的下端與新型稱重機構4相接。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。