[實用新型]一種新型籽晶位置實時可調(diào)機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920210233.9
• 申請日: 2009-09-27
• 公開（公告）號: CN201506850U
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃小衛(wèi)
• 申請（專利權(quán)）人: 上海元亮光電科技有限公司
• 主分類號: C30B15/30
• 分類號: C30B15/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及晶體生長設(shè)備，屬于晶體生長設(shè)備提拉機構(gòu)制造技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種新型籽晶位置實時可調(diào)機構(gòu)。

背景技術(shù)

在晶體生長過程中，籽晶與溫場中心的相對位置非常的關(guān)鍵，有時候會成為晶體生長過程的關(guān)鍵點。在實際晶體生長過程中，要在下種溫度合適的時候才能發(fā)現(xiàn)溫場的中心和籽晶的中心是否合適。

傳統(tǒng)晶體生長設(shè)備的提拉機構(gòu)是不能對籽晶和溫場相對位置進行實時調(diào)節(jié)，要調(diào)節(jié)中心必須停機才能進行，極大了影響工作效率和浪費成本，同時還會損壞溫場減低溫場使用壽命。所以有必要實用新型一種裝置可以方便的在晶體爐開機高溫熔融狀態(tài)下調(diào)節(jié)籽晶與溫場中心的相對位置；根據(jù)工藝需要可以把位置重合的調(diào)節(jié)成不重合或把不重合的調(diào)節(jié)成重合；同時適用于硬軸和軟軸的結(jié)構(gòu)；同時適用于高真空非真空爐體結(jié)構(gòu)。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所解決的技術(shù)問題在于提供一種可以方便的在晶體爐開機高溫熔融狀態(tài)下調(diào)節(jié)籽晶與溫場中心的相對位置的籽晶位置實時可調(diào)機構(gòu)。

本實用新型所解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：

一種新型籽晶位置實時可調(diào)機構(gòu)，包括提拉升降機構(gòu)，頂端安裝升降驅(qū)動機構(gòu)，通過升降驅(qū)動裝置提供提拉升降機構(gòu)的驅(qū)動動力，還包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，和提拉升降機構(gòu)之間通過連接桿相接，在旋轉(zhuǎn)機構(gòu)下連接軟軸或硬軸晶桿的一端，還包括密封的波紋管機構(gòu)，其中波紋管機構(gòu)和軟軸或硬軸晶桿另一端相接，其特征在于：所述提拉升降機構(gòu)的下端連接可旋轉(zhuǎn)連接桿，所述可旋轉(zhuǎn)連接桿和滑塊裝置相連，在所述可旋轉(zhuǎn)連接桿驅(qū)動滑塊裝置進行360°旋轉(zhuǎn)，滑塊裝置在水平面上做前后和左右滑動。

所述密封的波紋管機構(gòu)中晶桿的密封方式為真空密封。

本實用新型的進一步技術(shù)方案是一種新型籽晶位置實時可調(diào)機構(gòu)可以安裝連接桿、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和滑塊裝置中的至少一種。

本實用新型的有益效果是連接桿、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和滑塊裝置的配合使用，可以實現(xiàn)晶桿帶動籽晶做三維運動，方便的實現(xiàn)了籽晶在水平面上的自由移動。

附圖說明

圖1是本實用新型籽晶位置實時可調(diào)機構(gòu)的結(jié)構(gòu)原理圖。

具體實施方式

為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進一步闡述本實用新型。

如圖1所示，一種新型籽晶位置實時可調(diào)機構(gòu)，包括提拉升降機構(gòu)1，頂端安裝升降驅(qū)動機構(gòu)2，通過升降驅(qū)動裝置2提供提拉升降機構(gòu)1的驅(qū)動動力，還包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)3，和提拉升降機構(gòu)1之間通過連接桿4相接，在旋轉(zhuǎn)機構(gòu)3下連接軟軸或硬軸晶桿5的一端，還包括密封的波紋管機構(gòu)6，其中波紋管機構(gòu)6和軟軸或硬軸晶桿5另一端相接，在提拉升降機構(gòu)1的下端連接可旋轉(zhuǎn)連接桿7，可旋轉(zhuǎn)連接桿7和滑塊裝置8相連，可旋轉(zhuǎn)連接桿7可以驅(qū)動滑塊裝置8進行360°旋轉(zhuǎn)，滑塊裝置8在水平面上做前后和左右滑動，使得晶桿帶動籽晶做三維運動。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。