[實用新型]多晶硅氫化爐水冷電極

有效

• 申請號: 200920209027.6
• 申請日: 2009-09-01
• 公開（公告）號: CN201485285U
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 周積衛;李東曦;陳杰;王希剛
• 申請（專利權）人: 上海森松新能源設備有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03
• 代理公司: 上海欣創專利商標事務所 31217
• 代理人: 西江

1.一種多晶硅氫化爐水冷電極，包括有加熱棒(1)、石墨頭(2)、電極棒(3)、內插水管(4)、電源夾板(5)、冷卻水進口接頭(6)、冷卻水出口接頭(7)，其特征在于，所述加熱棒(1)設置在石墨頭(2)上端，所述石墨頭(2)設置在所述電極棒(3)上端，所述電源夾板(5)夾置在所述電極棒(3)上，所述內插水管(4)與所述冷卻水進口接頭(6)組合后從所述電極棒(3)的下端插入所述電極棒(3)中心的空腔，并延伸至空腔上方，所述冷卻水進口接頭(6)與所述電極棒(3)的下端密封連接，所述冷卻水出口接頭(7)設置在所述冷卻水進口接頭(6)的一側，與所述電極棒(3)與所述內插水管(4)外壁之間的空腔連通。