[實用新型]用于多晶槽式制絨設備的熱風干燥系統

無效

• 申請號: 200920208696.1
• 申請日: 2009-08-31
• 公開（公告）號: CN201497299U
• 公開（公告）日: 2010-06-02
• 發明（設計）人: 周柏林;袁佩君;大石滿
• 申請（專利權）人: 北京中聯科偉達技術股份有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B3/06;F26B21/04;H01L31/18
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 胡晶

技術領域

本實用新型涉及一種半導體技術領域中的制絨設備，具體地說，涉及的是一種用于多晶槽式制絨設備的熱風干燥系統。

背景技術

制絨是對硅片表面進行各向同性腐蝕，形成微溝，降低硅片表面的反射率，促使太陽在硅片表面進行多級反射，提升光的利用率。在太陽能晶硅電池的制備工藝中，制絨工藝是關系到太陽能電池表面的光吸收的重要部分，也是提高太陽能電池轉換效率的重要途徑之一。

在太陽能電池迅速發展應用的今天，對于目前占主要市場的晶體硅太陽能電池，未經表面處理的發射率一般超過30％，經過堿液等各向異性化學腐蝕形成表面微米級隨機金字塔結構絨面后單晶硅電池表面發射率可以降到10％，多晶硅電池由于表面晶粒的晶向差異，目前普遍采用的各向行化學腐蝕只能將發射率降低到20％。

現有技術中，太陽能硅片行業干燥一般采用離心甩干、IPA干燥，而甩干方式干燥易引起硅片碎裂；IPA干燥耗液大，系統安全防火設施要求高，易引發火警。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是，針對現有技術中存在的上述不足，提供了一種用于多晶槽式制絨設備的熱風烘干系統，該系統可以大大提高效率，并降低能耗、碎片率及安全隱患。

為實現以上目的，本實用新型提供了一種用于多晶槽式制絨設備的熱風烘干系統，該系統包括熱風循環動力系統、加熱系統、烘干主槽、凈化系統、充N₂系統。

熱風循環動力系統、加熱系統、凈化系統均位于加熱系統封閉箱體內；熱風循環動力系統進風口直接與烘干主槽的回風系統相連，出口與加熱系統的進口直接相連；加熱系統位于熱風循環動力系統的前方，出口直接與凈化系統的進口相連；凈化系統位于加熱系統的前方，出口直接與烘干主槽的循環進口相連；充N₂系統是由外圍的N₂管道直接通到加熱系統內部，從而保證了熱風空氣的潔凈度，惰性氣體N₂可以進一步避免在熱風干燥過程中硅片被氧化的可能性。

本實用新型用于多晶槽式制絨設備酸洗后先經過慢拉干燥，基本干燥完畢，再經過熱風干燥使硅片出料時完全達到潔凈、干燥的效果。該系統與國內外各廠家熱風干燥系統不同的是在熱風系統里加有充氮氣裝置并與設可調排廢氣裝置使熱風空氣保證更高的潔凈空氣，并具有停機保護發熱管的功能，可以大大提高效率，并降低能耗、碎片率及安全隱患。

附圖說明

圖1為本實用新型一個實施例結構示意圖；

圖中：1、加熱系統封閉箱體；2、熱風循環動力系統；3、加熱系統；4、凈化系統；5、烘干主槽；6、充N2系統；7、排廢氣裝置；8、自動蓋；9、汽缸。

具體實施方式

以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明，以下的描述僅用于理解本實用新型技術方案之用，不用于限定本實用新型的范圍。

本實用新型提供一種用于多晶槽式制絨設備的熱風干燥系統，如圖1所示，在該系統的一個實施例中，包括熱風循環動力系統2、加熱系統3、烘干主槽5、凈化系統4、充N₂系統6。

熱風循環動力系統2、加熱系統3、凈化系統4均位于加熱系統封閉箱體1內，該箱體上方設有排廢氣裝置7，從而避免廢氣殘留在箱體內部造成循環利用，加大凈化系統4的工作強度使其老化速度過快，也會給硅片干燥時使用的熱風潔凈程度帶來一定程度的影響，造成硅片表面污染影響硅片質量；熱風循環動力系統2進風口直接與烘干主槽5的回風系統相連，出口與加熱系統3的進口直接相連；加熱系統3位于熱風循環動力系統2的前方，出口直接與凈化系統4的進口相連；凈化系統4位于加熱系統2的前方，出口直接與烘干主槽5的循環進口相連；烘干主槽5直接固定在機器大槽內部，進風口與凈化系統4的排風口相連，回風口直接與熱風循環動力系統2的進風口相連，其上部設有自動蓋8，在烘干主槽5工作時自動蓋8關閉，降低熱風溫度下降速度達到節能效果，此自動蓋有氣缸9自動控制，避免人工操作的安全隱患；汽缸9直接固定機器大槽外壁上；充N₂系統6是由外圍的N2管道直接通到加熱系統2內部。

進一步的，所述加熱系統封閉箱體1上方設有排廢氣裝置7。

本實用新型工作時：機械手從慢拉裝置取出帶硅片的花籃，當烘干主槽5自動打開自動蓋8時，機械手迅速把花籃放進烘干主槽5內，當機械手離開烘干主槽5后，自動蓋8馬上關閉，正常工作時熱風循環動力系統2、加熱系統3、充N₂系統6是一直打開，溫度控制在70℃-88℃度范圍內，烘干時間到達后自動打開自動蓋8，由機械手取放到下料處。