[實用新型]用于雙陰極輝光放電滲金屬的源極無效
| 申請號： | 200920199385.3 | 申請日： | 2009-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN201517130U | 公開（公告）日： | 2010-06-30 |
| 發明（設計）人： | 張高會;李紅衛;鄭順奇;于明州;黃國青;潘俊德 | 申請（專利權）人： | 中國計量學院 |
| 主分類號： | C23C14/48 | 分類號： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 杭州賽科專利代理事務所 33230 | 代理人： | 王桂名;余華康 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 陰極 輝光 放電 金屬 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于雙陰極輝光放電滲金屬的源極，其特征在于：所述源極總體上呈圓柱形，所述圓柱沿軸向對稱設有若干圓孔；所述圓柱上部中心設有呈圓柱形的中空部分，所述中空部分沿軸向對稱設有若干圓孔。
2.根據權利要求1所述的用于雙陰極輝光放電滲金屬的源極，其特征在于：所述中空部分高度占源極高度的1/3。
3.根據權利要求1或2所述的用于雙陰極輝光放電滲金屬的源極，其特征在于：所述圓孔的直徑為15毫米。
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