[實用新型]開啟機構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920194012.7
• 申請日: 2009-09-03
• 公開（公告）號: CN201508831U
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊明生;劉惠森;范繼良;王偉;郭遠倫;王曼媛;王勇
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機械有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L51/56
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種開啟機構(gòu)，尤其涉及一種適用于真空設(shè)備中腔體門或腔體蓋的開啟機構(gòu)。

背景技術(shù)

OLED(Organic?Light-Emitting?Diode)，由于其自發(fā)光的特性，不像TFT-LCD需要背光，因此可視度大、亮度高，且電壓需求低，加上反應(yīng)快、重量輕、厚度薄、構(gòu)造簡單等優(yōu)點，被視為21世紀最具前途的產(chǎn)品之一；由于OLED的眾多優(yōu)點，使OLED是唯一在應(yīng)用上能和TFT-LCD相提并論的技術(shù)，OLED是目前所有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術(shù)，可以做成和紙張一樣的厚度。OLED的基本工藝包括基板制作、光刻、基片處理、成膜、封裝、老化測試及IC連接等，在OLED的生產(chǎn)工藝中，為了保證較高的清潔度，常常需要在真腔體設(shè)備中完成各種工藝，因此真空腔體設(shè)備貫穿整個生產(chǎn)制程，也是最普遍、最重要的設(shè)備之一。

在實際生產(chǎn)中，腔體內(nèi)部的零部件常常需要更換、改造、調(diào)試，腔體內(nèi)部也常常需要清理，因此需要將腔蓋打開進行維護，在維護的過程中既要確保調(diào)試人員的安全和腔蓋的穩(wěn)定，又要保證調(diào)試的方便性，在調(diào)試完成后為了保證真空腔體的密封性，又需要對下降過程中的腔蓋進行控制和定位。但隨OLED技術(shù)的發(fā)展，制造OLED的基片也趨向大面積發(fā)展，所以相應(yīng)的真空腔體設(shè)備也趨于大型化發(fā)展，腔蓋的尺寸和重量亦隨著增大。由于現(xiàn)在很多真空腔體設(shè)備中的腔蓋是由很厚的鋼板做成，靠人力一般都難以完成，況且此種操作也存在著較大的人身安全隱患，所以需要借助機械裝置進行操作，因此一種對腔蓋進行開啟和閉合的啟閉機構(gòu)就應(yīng)運而生，而開啟機構(gòu)設(shè)計是否合理直接影響真空效果，生產(chǎn)效率、維護的便利性、安全性等問題。

現(xiàn)有技術(shù)一種汽缸式開啟機構(gòu)，蓋板在氣缸的作用下實現(xiàn)啟閉，此種機構(gòu)一般只能將蓋板開啟到一定的角度，在一定程度上影響操作者對腔體內(nèi)的操作，且當需要將蓋板升的較高時，又會使汽缸臂導(dǎo)軌非常長，占用較大的空間并影響外觀；另一種開啟機構(gòu)是借助導(dǎo)軌將蓋板直接升降，即在鉛垂方向進行提升下降，達到啟閉的目的，在此技術(shù)中會涉及到以下問題：一是當蓋板升高到一定位置時，由于蓋板自身的重量，蓋板將不可避免的產(chǎn)生塑性變形，在腔蓋閉合時將導(dǎo)致密封不嚴，從而難以達到較高的真空度；二是當需要將腔體內(nèi)的零部件取出時就會產(chǎn)生操作不變問題，因為即使將蓋板升到最高位置，也會造成零部件取出困難，尤其是需取出的零部件很重，而人力無法完成時，需借用提升機構(gòu)，此設(shè)計會影響到提升機構(gòu)的操作，進一步加大了維修的難度，同時影響生產(chǎn)效率；再一種開啟機構(gòu)是將蓋板鉛垂方向升高到一定位置，再將蓋板水平移動，這種設(shè)計存在著蓋板的垂直和水平運動，無形中增大了開啟機構(gòu)的復(fù)雜程度，同時，此種設(shè)計也會使蓋板產(chǎn)生較大的塑性變形，蓋板的水平移動還會對腔體設(shè)備周圍其它設(shè)備造成干擾，特別是蓋板的尺寸很大時。

因此，急需一種方便、省力、安全、結(jié)構(gòu)簡單，不易使腔蓋變形，保證腔蓋密封性好、真空度高，且操作精度高的開啟機構(gòu)。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種方便、省力、安全、結(jié)構(gòu)簡單，不易使腔蓋變形，保證腔蓋密封性好、真空度高，且操作精度高的開啟機構(gòu)。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案為：提供一種開啟機構(gòu)，包括控制單元、驅(qū)動機構(gòu)、傳動機構(gòu)、兩執(zhí)行機構(gòu)及具有腔蓋的設(shè)備腔，所述兩執(zhí)行機構(gòu)固定連接于所述腔蓋上且相互平行，所述傳動機構(gòu)固定連接于所述腔體的一側(cè)壁且位于所述兩執(zhí)行機構(gòu)之間，所述傳動機構(gòu)的一端與所述執(zhí)行機構(gòu)連接，另一端與所述驅(qū)動機構(gòu)連接，所述控制單元控制所述驅(qū)動機構(gòu)運動，所述驅(qū)動機構(gòu)通過所述傳動機構(gòu)同步的帶動兩所述執(zhí)行機構(gòu)，實現(xiàn)所述腔蓋的開啟，其中，所述傳動機構(gòu)包括傳動軸、減速器、蝸桿、蝸輪、連接軸及呈中空結(jié)構(gòu)的支撐體，所述支撐體與所述腔體的一側(cè)壁固定連接且位于所述兩執(zhí)行機構(gòu)之間，所述連接軸貫穿所述支撐體且平行于所述腔蓋，所述連接軸的兩端分別與所述兩執(zhí)行機構(gòu)連接，所述蝸輪固定于所述連接軸上且位于所述支撐體內(nèi)，所述蝸桿設(shè)置于所述支撐體內(nèi)且與所述蝸輪垂直嚙合，所述蝸桿一端與所述減速器的輸出軸連接，所述減速器的輸入軸與所述傳動軸的一端連接，所述傳動軸的另一端與驅(qū)動機構(gòu)連接。