[實用新型]干法硅片自動插片機

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920187714.2
• 申請日: 2009-09-18
• 公開（公告）號: CN201508850U
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 凌兆貴;顧韻;王江華;李坤
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫市南亞科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 無錫華源專利事務(wù)所 32228
• 代理人: 聶漢欽

1.干法硅片自動插片機，包括機架，機架上安裝有硅片插片盒的提升機構(gòu)，其特征在于：所述機架上還安裝有往復(fù)進給機構(gòu)，所述往復(fù)進給機構(gòu)上部連接皮帶傳送機構(gòu)，所述皮帶傳送機構(gòu)包括與動力源連接的主軸，所述主軸左右兩端分別裝有從動輪，輸送硅片的傳輸帶與所述從動輪及傳動輪連接，所述皮帶經(jīng)過將硅片輸送入硅片插片盒的導(dǎo)向槽；所述往復(fù)進給機構(gòu)的結(jié)構(gòu)如下：連桿分別與連桿座、凸輪、下連桿座鉸接，所述凸輪與動力源連接，滑塊與所述凸輪固連并穿過所述連桿，所述滑塊、凸輪以及連桿通過兩個螺母、一個雙頭螺栓在軸向固定。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干法硅片自動插片機，其特征在于所述導(dǎo)向槽由兩個限位條以及所述皮帶傳動機構(gòu)的上底板構(gòu)成，所述導(dǎo)向槽的一端寬度小于另一端。