[實(shí)用新型]磁控濺射生產(chǎn)線中移動(dòng)式回架車的專用供電裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920187048.2
• 申請(qǐng)日: 2009-08-18
• 公開（公告）號(hào): CN201490215U
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭為報(bào);劉海;張澤軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 普樂新能源(蚌埠)有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 34102
• 代理人: 王琪

1.磁控濺射生產(chǎn)線中移動(dòng)式回架車的專用供電裝置，包括借助相互平行的兩個(gè)導(dǎo)軌支撐回架車的臺(tái)座，其特征在于：所述臺(tái)座上在兩個(gè)導(dǎo)軌之間處開有用來承載拖鏈的托槽，托槽與導(dǎo)軌的走向相一致，拖鏈活絡(luò)地置于托槽內(nèi)，拖鏈中貫穿有電纜，拖鏈的一端與回架車連接、另一端與臺(tái)座固接，電纜的一端與回架車內(nèi)的交流電機(jī)電連接、另一端與設(shè)置在臺(tái)座上的交流供電電源連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射生產(chǎn)線中移動(dòng)式回架車的專用供電裝置，其特征在于：所述托槽靠近交流供電電源的一側(cè)設(shè)有可遮蓋拖鏈的非移動(dòng)段的罩板。