[實用新型]磁控濺射生產線中移動式回架車的專用供電裝置無效

申請號：	200920187048.2	申請日：	2009-08-18
公開（公告）號：	CN201490215U	公開（公告）日：	2010-05-26
發明（設計）人：	彭為報;劉海;張澤軍	申請（專利權）人：	普樂新能源(蚌埠)有限公司
主分類號：	H01L31/18	分類號：	H01L31/18
代理公司：	蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 34102	代理人：	王琪
地址：	233030 ***	國省代碼：	安徽;34
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摘要：
搜索關鍵詞：	磁控濺射生產線移動式回架車專用供電裝置
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【權利要求書】：

1.磁控濺射生產線中移動式回架車的專用供電裝置，包括借助相互平行的兩個導軌支撐回架車的臺座，其特征在于：所述臺座上在兩個導軌之間處開有用來承載拖鏈的托槽，托槽與導軌的走向相一致，拖鏈活絡地置于托槽內，拖鏈中貫穿有電纜，拖鏈的一端與回架車連接、另一端與臺座固接，電纜的一端與回架車內的交流電機電連接、另一端與設置在臺座上的交流供電電源連接。

2.根據權利要求1所述的磁控濺射生產線中移動式回架車的專用供電裝置，其特征在于：所述托槽靠近交流供電電源的一側設有可遮蓋拖鏈的非移動段的罩板。

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