[實用新型]硅單晶棒運輸冷卻車裝置

無效

• 申請號: 200920186922.0
• 申請日: 2009-08-13
• 公開（公告）號: CN201485532U
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 劉天貴;馬青;李春雷;高熙禮
• 申請（專利權）人: 合肥景坤新能源有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

技術領域

本實用新型涉及特種運輸裝置領域，尤其是硅單晶棒運輸冷卻車裝置，適用于取、運輸、冷卻剛從單晶爐中提出的硅單晶棒。

背景技術

目前，直拉法制備出的硅單晶棒在取出后還需要經過適當的冷卻，直接取出的硅單晶棒溫度約200～300℃，如果直接操作，操作過程中容易對人體造成傷害，并且如果硅單晶棒冷卻的不均勻還會導致位錯增加，甚至還可能由于熱應力使得硅單晶棒出現隱裂的狀況。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種硅單晶體棒運輸冷卻車裝置，便于獲取、固定及運輸硅單晶棒，并且能夠給硅單晶棒提供一個均勻的冷卻環境，以解決直拉法制備出的硅單晶棒直接操作容易傷害到操作人員，還可能導致硅單晶棒損壞的問題。

為了達到上述目的，本實用新型所采用的技術方案為：

硅單晶棒運輸冷卻車裝置，包括有箱體形式的硅單晶護套，所述硅單晶護套上連接有車架，車架頂端設有車扶手，硅單晶護套底部安裝有車輪，其特征在于：所述硅單晶護套頂面開有開孔，所述車架上設有朝向開孔的導軌，所述的導軌上安裝有固定套，硅單晶棒可沿著車架上導軌與固定套穿過開孔放入硅單晶護套中。

所述的硅單晶棒運輸冷卻車裝置，其特征在于：所述固定套可為哈夫環形式，其中一個半環滑動安裝在所述導軌上，另一個半環與安裝在導軌的半環轉動連接。

所述的硅單晶棒運輸冷卻車裝置，其特征在于：所述車架上的導軌為導桿形式，所述固定套其中一個半環背部連接有安裝座，所述安裝座中開有通孔，所述固定套其中一個半環通過所述安裝座滑動套接在所述車架的導軌上，所述安裝座的通孔壁上還開有螺孔，所述固定套可通過螺釘緊固在導軌上，所述另一個半環與安裝在導軌上的半環轉動連接。

所述的硅單晶棒運輸冷卻車裝置，其特征在于：所述硅單晶護套底部還安裝有平衡滑輪，所述硅單晶護套背面靠近車輪處開有小孔，平衡滑輪安裝在小孔中。

所述的硅單晶棒運輸冷卻車裝置，其特征在于：所述硅單晶護套在硅單晶棒放入時，硅單晶護套與硅單晶棒接觸的位置處設有石棉。

本實用新型可以根據硅單晶棒的長度調節硅單晶棒固定套的高度；本實用新型在操作全過程避免了硅單晶棒與金屬車直接接觸，因此避免了由于局部冷速過快而導致位錯增加以及硅單晶的隱裂的問題；同時本實用新型設計了平衡滑輪，因此可以實現直立橫向運動。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

圖2為本實用新型固定套安裝示意圖。

圖3為本實用新型固定套示意圖。

圖4為本實用新型平衡滑輪示意圖。

具體實施方式

硅單晶棒運輸冷卻車裝置，包括有箱體形式的硅單晶護套3，硅單晶護套3上連接有車架7，車架7頂端設有車扶手4，硅單晶護套3底部安裝有車輪1，硅單晶護套3底部還安裝有平衡滑輪2，硅單晶護套3背面靠近車輪1處開有小孔，平衡滑輪2安裝在小孔中。硅單晶護套3頂面開有開孔，硅單晶棒可沿著車架7通過開孔放入硅單晶護套3中，硅單晶護套3在硅單晶棒放入時，硅單晶護套3與硅單晶棒接觸的位置處設有石棉。車架7上設有導軌8，還包括有固定套，固定套可為哈夫環形式，其中一個半環5滑動安裝在導軌8上，另一個半環6與安裝在導軌8的半環5轉動連接。

車架上的導軌8可為導桿形式，固定套其中一個半環5背部可連接有安裝座，安裝座中開有通孔，固定套其中一個半環5通過安裝座滑動套接在車架7的導軌8上，安裝座的通孔壁上還開有螺孔，固定套可通過螺釘9緊固在導軌上，另一個半環6與安裝在導軌8上的半環5通過銷釘10轉動連接。

從單晶爐中出來的硅單晶棒可以直接落在硅單晶棒運輸冷卻車裝置中硅單晶護套的底部，本實用新型可為金屬材料制成的金屬車，因此其散熱速度快，故在硅單晶棒與硅單晶護套的接觸點增加石棉，避免硅單晶棒與金屬的硅單晶護套直接接觸，以防止冷卻過程不均勻。

本實用新型可以有直立、橫臥兩種工位，可以實現直立橫向、推拉兩種運動方式。本實用新型操作時可避免操作人員接觸硅單晶棒，大大提高了操作的安全性。本裝置適用于直徑100-200mm，長度300-1700mm的硅單晶棒的運輸和冷卻。