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[實用新型]多晶硅實驗還原爐無效

專利信息
申請號: 200920177445.1 申請日: 2009-09-04
公開(公告)號: CN201525754U 公開(公告)日: 2010-07-14
發明(設計)人: 朱青松;蔣文武;王存惠 申請(專利權)人: 江蘇中能硅業科技發展有限公司
主分類號: C01B33/03 分類號: C01B33/03;F27B17/02
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 221004 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 多晶 實驗 還原
【權利要求書】:

0.多晶硅實驗還原爐主要由底盤、含夾套冷卻水的鐘罩式雙層爐桶組成,底盤上安裝有電極、混和氣進氣管、混和氣尾氣出氣管、爐體冷卻水進水管、爐體冷卻水出水管、底盤冷卻水進水管、底盤冷卻水出水管及其他附屬部件組成,爐桶和底盤主體采用不銹鋼材質,其特征是在還原爐底盤上布置一對電極。

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