[實用新型]多晶硅實驗還原爐無效
| 申請號: | 200920177445.1 | 申請日: | 2009-09-04 |
| 公開(公告)號: | CN201525754U | 公開(公告)日: | 2010-07-14 |
| 發明(設計)人: | 朱青松;蔣文武;王存惠 | 申請(專利權)人: | 江蘇中能硅業科技發展有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/03 | 分類號: | C01B33/03;F27B17/02 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 221004 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 多晶 實驗 還原 | ||
【權利要求書】:
0.多晶硅實驗還原爐主要由底盤、含夾套冷卻水的鐘罩式雙層爐桶組成,底盤上安裝有電極、混和氣進氣管、混和氣尾氣出氣管、爐體冷卻水進水管、爐體冷卻水出水管、底盤冷卻水進水管、底盤冷卻水出水管及其他附屬部件組成,爐桶和底盤主體采用不銹鋼材質,其特征是在還原爐底盤上布置一對電極。
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