[實用新型]一種多模式原子力顯微鏡

無效

• 申請號: 200920175591.0
• 申請日: 2009-08-24
• 公開（公告）號: CN201488932U
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 胡志強;羅先照
• 申請（專利權）人: 蘇州海茲思納米科技有限公司
• 主分類號: G01N13/16
• 分類號: G01N13/16
• 代理公司: 北京紐樂康知識產權代理事務所 11210
• 代理人: 唐忠慶

1.一種多模式原子力顯微鏡，包括AFM主機(1)、電子控制系統(2)和計算機系統(3)，所述AFM主機(1)通過電子控制系統(2)連接計算機系統(3)，其特征在于：所述AFM主機(1)包括AFM探針頭部(11)和AFM基座(12)，其中AFM探針頭部(11)一側中下部靠近邊緣處設有探針模塊(13)，AFM探針頭部(11)正下方設有AFM基座(12)，AFM基座(12)包括上基座(14)和下基座(15)，上基座(14)與下基座(15)通過三個圓柱形部件相連，所述上基座(14)中部設有掃描器(16)，掃描器(16)下方對稱設有精密二維調節裝置(17)，掃描器(16)兩側對稱設有粗調驅動裝置(18)，所述粗調驅動裝置(18)穿過所述上基座(14)。