[實用新型]用于干涉顯微鏡升級的白光干涉三維輪廓測量儀

無效

• 申請號: 200920175590.6
• 申請日: 2009-08-24
• 公開（公告）號: CN201476761U
• 公開（公告）日: 2010-05-19
• 發明（設計）人: 羅先照;胡志強
• 申請（專利權）人: 蘇州海茲思納米科技有限公司
• 主分類號: G01B9/023
• 分類號: G01B9/023;G01B11/24
• 代理公司: 北京紐樂康知識產權代理事務所 11210
• 代理人: 秦月貞

1.一種用于干涉顯微鏡升級的白光干涉三維輪廓測量儀，包括防震平臺(1)，所述防震平臺(1)的上表面設有儀器主機(2)、電子控制器(3)和計算機(4)，儀器主機(2)與電子控制器(3)之間、電子控制器(3)與計算機(4)之間均通過導線連接，其特征在于：所述儀器主機(2)包括6JA干涉顯微鏡(5)、CCD攝像(6)、全息衍射光柵計量裝置(7)和支架座(8)，支架座(8)的上表面設有共基面運動X-Y工作臺(9)，共基面運動X-Y工作臺(9)上表面的左側設有全息衍射光柵計量裝置(7)，共基面運動X-Y工作臺(9)上表面的右側設有垂直位移驅動裝置(10)。

2.根據權利要求1所述的用于干涉顯微鏡升級的白光干涉三維輪廓測量儀，其特征在于：所述垂直位移驅動裝置(10)的上表面設有垂直位移工作臺座(11)。

3.根據權利要求1或2所述的用于干涉顯微鏡升級的白光干涉三維輪廓測量儀，其特征在于：所述垂直位移工作臺座(11)包括計量衍射光柵(12)和壓電陶瓷(13)，壓電陶瓷(13)通過柔性鉸(14)與垂直位移工作臺座(11)連接，垂直位移工作臺座(11)的正上方設有6JA干涉顯微鏡(5)，6JA干涉顯微鏡(5)的側壁上設有CCD攝像(6)。