[實用新型]一種多功能拋動旋轉機構

有效

• 申請號: 200920174973.1
• 申請日: 2009-09-30
• 公開（公告）號: CN201556607U
• 公開（公告）日: 2010-08-18
• 發明（設計）人: 耿彪
• 申請（專利權）人: 耿彪
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多功能拋動旋轉機構，包括腐蝕槽和清洗槽，其特征在于：包括拋動機構、旋轉機構、花籃架機構，所述旋轉機構位于花籃架機構和拋動機構之間。

2.根據權利要求1所述的多功能拋動旋轉機構，其特征在于：所述拋動機構由傳動動力部分與傳動執行部分組成，二者通過隔板分隔開。

3.根據權利要求2所述的多功能拋動旋轉機構，其特征在于：所述傳動動力部分包括驅動電機、主同步帶輪、主同步帶、雙聯同步帶輪、雙聯同步帶輪、傳動軸；所述驅動電機與主同步帶輪連接，主同步帶輪與雙聯同步帶輪通過主同步帶連接，雙聯同步帶輪固定在傳動軸上。

4.根據權利要求3所述的多功能拋動旋轉機構，其特征在于：所述主傳動軸由兩個軸承座支撐。

5.根據權利要求2所述的多功能拋動旋轉機構，其特征在于：所述傳動執行部分包括從動同步帶、同步帶輪，聯軸器、第一旋臂、第二旋臂；所述從動同步帶一端與雙聯同步帶輪連接，另一端與同步帶輪連接，所述聯軸器一端與同步帶輪連接，另一端與第一旋臂連接，所述第一懸臂與第二旋臂連接。

6.根據權利要求1或5所述的多功能拋動旋轉機構，其特征在于：所述旋轉機構安裝在第二旋臂上，包括電機、第二主同步帶輪、第二同步帶、同步帶輪、主軸，所述電機與第二主同步帶輪連接，所述第二同步帶的一端與第二主同步帶輪連接，另一端與同步帶輪連接，所述同步帶輪與主軸連接。

7.根據權利要求6所述的多功能拋動旋轉機構，其特征在于：所述電機通過電機隔離罩與外界隔離；所述旋轉機構的傳遞部分通過密封罩密封。

8.根據權利要求1所述的多功能拋動旋轉機構，其特征在于：所述花籃架機構由旋轉軸、固定板、固定軸、支撐板、晶片花籃組成，所述固定板串接于旋轉軸上，所述固定軸設置于支撐板之間，所述晶片花籃位于固定板、固定軸之間。